只有1.5毫米大小的智能灰塵、微型AI殺人蜂（無人機）、精巧的AirPods Pro，所有這一切的高科技產(chǎn)品和新應(yīng)用，都離不開一個小器件——MEMS智能傳感器。11月24日，第三屆中國MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會在安徽省蚌埠市舉行。在本次大會上，來自蘇州明皜（蘇州固锝參股子公司）、大立科技、賽迪顧問等的業(yè)內(nèi)人士介紹了MEMS智能傳感器的廣闊市場前景。

瞄準(zhǔn)產(chǎn)業(yè)機遇，安徽省將MEMS智能傳感器作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重點。在本次大會上，安徽省智能傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟舉行了成立儀式，擁有華東光電集成器件研究所、凱盛科技等MEMS研究所企業(yè)，蚌埠市已經(jīng)成為中國三大傳感器研發(fā)制造基地之一。

千億級市場 地方政府爭相布局

MEMS傳感器正被廣泛應(yīng)用于各類智能終端、智能汽車、生物醫(yī)療等眾多領(lǐng)域，需求量與日俱增。清華大學(xué)副校長尤政認(rèn)為，我國MEMS產(chǎn)業(yè)正在迎來發(fā)展機遇。

小身材大市場。賽迪顧問副總裁李珂以汽車領(lǐng)域為例介紹，預(yù)計到2020年，中國的汽車電子市場規(guī)模將超過9000億元，其中傳感器的市場規(guī)模已經(jīng)接近2000億元；未來幾年，汽車用傳感器市場將保持2位數(shù)增長，迅速達到4000億元規(guī)模。

“MEMS智能傳感器是一個非常重要的電子信息產(chǎn)業(yè)門類，也是我們所確定的五大高端芯片產(chǎn)業(yè)之一，我們要把MEMS智能傳感器作為重點來發(fā)展。”國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金（簡稱“大基金”）總裁丁文武在致辭中透露。他介紹，近幾年，我國MEMS智能傳感器連續(xù)保持年均15%至20%的增長率。

安徽多措并舉加快智能傳感器發(fā)展。在本次論壇上，安徽省智能傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟舉行了成立儀式，中科銥航公司和經(jīng)開區(qū)管委會簽約基于5G的智慧交通大數(shù)據(jù)平臺項目等四個重大項目也進行了現(xiàn)場簽約。

據(jù)介紹，依托華東光電集成器件研究所（隸屬中國兵器工業(yè)集團）、凱盛科技等一批智能傳感器研發(fā)設(shè)計制造企業(yè)，蚌埠市已經(jīng)成為中國三大傳感器研發(fā)制造基地之一，成為安徽省唯一同時擁有集成電路及MEMS晶圓生產(chǎn)線的城市。

看好產(chǎn)業(yè)前景，多地積極布局智能傳感器產(chǎn)業(yè)。今年8月，重慶市傳感器特色產(chǎn)業(yè)基地揭牌，重慶已經(jīng)形成以川儀股份、中移物聯(lián)網(wǎng)等為代表的智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群。10月份，鄭州市提出將在高新區(qū)打造一個3至4平方公里的中國(鄭州)智能傳感谷。陜西省也成立了傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟。

產(chǎn)業(yè)鏈初形成 上市公司多有突破

得益于消費電子、軍工等需求推動，MEMS傳感器正在迎來更快的發(fā)展，相關(guān)上市公司也開始嶄露頭角。

“除了軍工應(yīng)用外，汽車、消費電子、環(huán)境感知可能將三分天下。”在本次論壇上，尤政介紹，傳統(tǒng)汽車中有200多個傳感器，其中80%都是由MEMS工藝來實現(xiàn)的；新能源車減少了燃燒相關(guān)傳感器，但增加了更多的電子系統(tǒng)傳感器，其成本占比更高。

“中國的MEMS產(chǎn)業(yè)鏈已經(jīng)初步形成。”蘇州明皜副總裁錢春華介紹了中國MEMS產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀。在傳感器設(shè)計領(lǐng)域，除了蘇州明皜，他還提到了瑞聲科技、歌爾股份、敏芯股份、美新半導(dǎo)體、矽睿科技等。

蘇州固锝近日在接受調(diào)研時表示，蘇州明皜持續(xù)導(dǎo)入新客戶，新產(chǎn)品硅麥克風(fēng)已經(jīng)批量出貨。記者注意到，敏芯股份申請科創(chuàng)板上市已進入問詢階段，公司本次公開發(fā)行擬融資7.07億元。

錢春華介紹，在MEMS傳感器制造環(huán)節(jié)，國內(nèi)相關(guān)公司有中芯國際、華虹宏力、耐威科技、華潤微電子，蘇州固锝、華天科技、長電科技等則具有相關(guān)封裝技術(shù)。

此外，部分初創(chuàng)公司、研究所已經(jīng)崢嶸初現(xiàn)。比如，北京久好點子的壓力傳感器已廣泛應(yīng)用到汽車、工業(yè)等領(lǐng)域。擁有獨特的SOI體硅工藝，華東光電集成器件研究所研發(fā)了一系列的產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于車輛導(dǎo)航、姿態(tài)控制、平臺穩(wěn)定等方面。在本次大會上，其發(fā)布了低成本MEMS陀螺儀，大量程、耐過載MEMS陀螺儀等多款產(chǎn)品。

關(guān)于智能傳感器

智能傳感器（intelligent sensor）是具有信息處理功能的傳感器。智能傳感器帶有微處理機，具有采集、處理、交換信息的能力，是傳感器集成化與微處理機相結(jié)合的產(chǎn)物。與一般傳感器相比，智能傳感器具有以下三個優(yōu)點：通過軟件技術(shù)可實現(xiàn)高精度的信息采集，而且成本低；具有一定的編程自動化能力；功能多樣化。

一個良好的‘智能傳感器’是由微處理器驅(qū)動的傳感器與儀表套裝，并且具有通信與板載診斷等功能。

智能傳感器能將檢測到的各種物理量儲存起來，并按照指令處理這些數(shù)據(jù)，從而創(chuàng)造出新數(shù)據(jù)。智能傳感器之間能進行信息交流，并能自我決定應(yīng)該傳送的數(shù)據(jù)，舍棄異常數(shù)據(jù)，完成分析和統(tǒng)計計算等。