6月6日，深圳市工業和信息化局、深圳市發展和改革委員會、深圳市科技創新委員會三部門發布《深圳市培育發展智能傳感器產業集群行動計劃（2022-2025年）》，重點聚焦消費電子、智能駕駛、智能機器人等應用領域，發展基于MEMS工藝，涵蓋力、光、聲、熱、磁、氣等智能傳感器產品。
《行動計劃》提出，到2025年，智能傳感器產業增加值達到80億元，較2021年的40億元翻番，新增一批專精特新“小巨人”、制造業“單項冠軍”、“獨角獸”企業。建設一條兼具量產能力的MEMS中試線，為高端MEMS傳感器企業提供定制化、規模化加工服務，構建涵蓋研發、中試及規模生產的完整MEMS產品技術創新鏈。《行動計劃》還提出了五大重點任務與八大重點工程。
華西證券宋輝認為，MEMS傳感器正在逐漸取代傳統機械傳感器，受益5G、物聯網、新能源汽車等產業加速興起，市場空間持續增長。伴隨國內半導體制造工藝逐漸升級，加之本地化服務與成本優勢，MEMS制造環節向中國轉移趨勢明顯。
以下為深圳發布的《深圳市培育發展智能傳感器產業集群行動計劃（2022-2025年）》通知。
深圳市培育發展智能傳感器產業集群行動計劃（2022-2025年）
各有關單位：
智能傳感器作為信息系統與外界環境交互的重要手段和感知信息的主要來源，是決定未來信息技術產業發展能級的關鍵核心和先導基礎。為貫徹落實市委、市政府關于推進制造強市建設的工作部署，加快培育發展智能傳感器產業集群，依據《廣東省人民政府關于培育發展戰略性支柱產業集群和戰略性新興產業集群的意見》《深圳市人民政府關于發展壯大戰略性新興產業集群和培育發展未來產業的意見》等文件精神，制定本行動計劃。
一、總體情況
智能傳感器是具有信息采集、信息處理、信息交換、信息存儲功能的多元件集成電路，是集成傳感芯片、通信芯片、微處理器、驅動程序、軟件算法等于一體的系統級產品，是手機、電腦、智能穿戴、無人機、機器人等各類智能產品必備的核心零部件。
（一）發展現狀。2021年，深圳市智能傳感器產業增加值超過40億元，在MEMS麥克風領域有技術積累深厚的行業龍頭企業，在激光雷達、紅外熱電堆等細分領域擁有具備較強研發實力和行業影響力的“小而精”科技創新型企業。
（二）發展機遇。深圳在智能硬件、消費電子、汽車電子、物聯網、儀器儀表、工業自動化、生物醫療、航空航天等領域擁有廣闊的智能傳感器應用市場，特別是隨著數字孿生城市和鵬城自進化智能體的深入建設，智能傳感器產業迎來廣闊發展前景。
（三）存在問題。一是核心制造產能缺失，無法滿足企業多種智能傳感器產品制造、封裝、測試需求。二是核心基礎技術創新能力有待提高，擁有核心競爭力的產品不多。三是智能傳感器專業園區亟需布局，產業規模效應尚未形成。四是產業人才短缺，人才供需矛盾仍然突出。
二、工作目標
（一）產業規模持續擴大。緊緊抓住智能傳感器市場爆發增長、技術創新高度活躍的戰略機遇期，做大做強一批智能傳感器制造和系統集成企業，到2025年智能傳感器產業增加值達到80億元、實現翻番，新增一批專精特新“小巨人”、制造業“單項冠軍”、“獨角獸”企業。
（二）創新能力不斷增強。到2025年，突破一批智能傳感器核心技術，布局若干技術先進、特色突出、優勢互補的高水平創新平臺，配套建設3個以上產業公共服務平臺。
（三）制造能力顯著提升。以行業重點企業為主導，建設高水平專業化產業基地（產業園）、先進傳感器工藝中試平臺。到2025年，建設一條兼具量產能力的MEMS中試線，為高端MEMS傳感器企業提供定制化、規模化加工服務，構建涵蓋研發、中試及規模生產的完整MEMS產品技術創新鏈。
（四）生態體系基本完善。通過培育、引進一批設計、制造、封測、應用和配套企業，全鏈條、全要素智能傳感器產業集群基本形成，產業協同發展能力日益增強。到2025年，創建以智能傳感器產業鏈上下游企業為主的產業園區。
三、重點任務
（一）推動產業園區建設。按照“集約集聚、特色發展”的布局原則，立足現有企業分布情況及工業集聚區的資源稟賦，推進智能傳感器產業聚集，著力形成產業集群發展效應。以市場化方式為主推進智能傳感器產業園建設，通過創新產業招商模式，完善園區服務，鼓勵傳感器產業企業入駐聚集發展。加強對園區內企業政策宣講等服務，幫助企業用足用好產業發展、技術創新、人才育引、應用示范等各類支持政策。（市工業和信息化局、發展改革委、科技創新委，各區政府、新區管委會、深汕特別合作區管委會按職責分工負責）
（二）打造全產業鏈核心技術能力。提高智能傳感器設計能力，鼓勵重點企業圍繞圖像傳感器、生物傳感器、激光雷達、智能觸控等產品，加大研發投入力度，強化MEMS傳感器、配套ASIC芯片、應用算法和驅動程序等自主研發能力。提高智能傳感器制造能力，以企業產品線制造需求為核心，打造具有深圳特色MEMS中試線，引進具備技術實力的傳感器制造企業。完善封裝測試產業鏈配套，支持先進封裝技術研發和產業化。推進智能傳感器裝備材料配套，通過產線建設，帶動高端裝備制造、材料等相關產業聯動發展，積極引進國內外智能傳感器核心裝備材料企業。提升智能傳感器創新產品研發能力，重點聚焦消費電子、智能駕駛、智能機器人等應用領域，發展基于MEMS工藝、涵蓋力、光、聲、熱、磁、氣等智能傳感器產品。（市科技創新委、工業和信息化局、發展改革委，各區政府、新區管委會、深汕特別合作區管委會按職責分工負責）
（三）保障公共服務能力。構建多層次協同創新體系，深化企業、高等院校及科研院所合作，加大關鍵共性技術、前沿引領技術、現代工程技術等研發力度，搭建產學研用緊密結合的協同創新和成果轉化平臺，組建傳感器專業行業協會和產業聯盟，推動協同創新。強化公共服務平臺建設，推動智能傳感器MEMS工藝制造中試平臺、量產測試服務平臺、工程檢測驗證服務平臺等公共服務平臺建設，提升制造、封裝與系統集成、檢驗服務能力。構建全鏈條孵化體系，構建從基礎研發到成果轉化、中試、量產應用的商業化機制，完善創業投資、科技服務、專業培訓、政策咨詢等企業服務體系。鼓勵產業鏈上下游協同發展，支持智能傳感器設計企業與制造、封測企業等探索、完善多方協作、互利共贏的新型商業模式，建立緊密合作關系，推動產業鏈協同升級，縮短產品商業化周期。（市工業和信息化局、發展改革委、科技創新委、教育局，各區政府、新區管委會、深汕特別合作區管委會按職責分工負責）
（四）加強產業引培力度。完善智能傳感器產業投融資環境，設立智能傳感器產業投資基金，引導和鼓勵天使基金和風險投資基金投資智能傳感器企業，支持各級信用擔保機構為符合條件的智能傳感器企業提供融資擔保服務，鼓勵支持智能傳感器企業在境內外上市融資及發行各類債務融資工具。加快培育創新型企業，選擇一批優勢明顯、成長性好的重點企業加快培育成具有競爭力的創新型龍頭企業，支持龍頭企業突破一批核心關鍵技術，引領產業創新發展，分類培育智能傳感器細分領域企業，支持創新型中小企業孵化成長。積極開展重點項目招商，針對智能傳感器產業鏈重點領域、關鍵節點，著重強鏈補鏈，重點引進一批擁有技術優勢、品牌優勢和市場優勢的智能傳感器企業，推動智能傳感器產業突破式發展。（市商務局、工業和信息化局、發展改革委、科技創新委，各區政府、新區管委會、深汕特別合作區管委會按職責分工負責）
（五）提升產業生態合作水平。舉辦智能傳感器產業展會、論壇等專業活動，鼓勵引導企業積極開展合作交流。依托專家咨詢委員會，舉辦相關技術論壇、科技沙龍，專題探討行業發展熱點、焦點、難點問題，為企業技術路徑提供專業指導。以重點高校、重點企業和科研院所為主體，加強粵港澳大灣區智能傳感器行業的交流合作和協同創新。（市工業和信息化局、發展改革委、科技創新委，各區政府、新區管委會、深汕特別合作區管委會按職責分工負責）
四、重點工程
（一）關鍵材料攻關工程。積極引進國內外傳感器材料制備頭部企業，鼓勵重點企業聯合新型科研機構開展產學研協同創新，加快推進新型敏感材料及元件在新型傳感器制備過程中的關鍵技術攻關，加快變革性敏感原理、材料、工藝的關鍵技術攻關，加快新型傳感器的研發和規模量產步伐。（市科技創新委、發展改革委、工業和信息化局按職責分工負責）
（二）高端設計躍遷工程。強化企業傳感器總體結構、敏感元件、加工工藝、外圍電路等全流程設計能力，推進與下游加工制造、系統集成等企業的交流合作。支持充分利用市內相關科研院所資源，開展新型傳感器原創性設計。推動開發傳感器器件結構設計與驗證、MEMS及ASIC協同設計、產品性能仿真等工具軟件。鼓勵傳感器系統集成廠商、儀器儀表廠商及集成電路設計廠商圍繞“應用牽引”兼并重組國內外傳感器產品設計開發企業。（市工業和信息化局、發展改革委、科技創新委按職責分工負責）
（三）特色制造補鏈工程。加強MEMS與集成電路工藝兼容性研究，布局CMOS-MEMS集成技術，面向市內外有關企業提供研發中試和部分量產服務，加快研發成果產業化進程。鼓勵和支持芯片制造企業升級改造現有晶圓加工生產線，形成MEMS工藝量產能力。（市工業和信息化局、發展改革委、科技創新委按職責分工負責）
（四）先進封測強鏈工程。支持傳感器企業加快晶圓測試、芯片封裝、封裝后測試等半導體封裝過程關鍵技術和工藝研究，自主掌握主流封裝技術應用能力。支持重點企業不斷提升傳感器研發、試產和量產過程中的階段性測試能力，滿足不同類別、不同原理的傳感器測試需求。鼓勵引進國內外專業封測設備廠商，提升本地設備配套能力。（市工業和信息化局、發展改革委、科技創新委、商務局按職責分工負責）
（五）終端應用創新工程。實施傳感器示范應用工程，推動多傳感器集成與傳感器多功能集成，推動傳感器產業各環節協同發展。加大智能手環、智能機器人、智能網聯汽車、醫療器械、智能視覺和智慧水務、電力、熱力、燃氣、環保、交通等物聯網應用領域場景下的傳感系統集成和應用示范。鼓勵機器人及智能裝備產業重點企業，開展內部溫度、壓力、位置、姿態、導航等傳感器系統和外部測距、聲音、圖像、紅外等功能性傳感器系統、智能化應用解決方案、多傳感器融合系統等研發制造。（市工業和信息化局、發展改革委、科技創新委、國資委按職責分工負責）
（六）精準招商引資工程。加強產業鏈上下游招商，通過舉辦會展、會議、推介活動，加強宣傳推廣，吸引知名企業落戶。充分利用產業投資基金引導作用，積極落實各項招商政策，完善各項配套體系，針對國際和國內重點智能傳感器相關廠商進行招商，逐步實現產業上下游集聚發展。（市商務局、工業和信息化局、發展改革委、科技創新委按職責分工負責）
（七）產業協同創新示范工程。以智能傳感器產業需求為導向，以應用研究為主體，以技術共享為紐帶，通過共建企業聯合實驗室，積極推動高校及科研院所與產業內企業開展協同創新，實現專利共享和成果轉化，達成產學研深度融合。引導集群促進機構、科研院所、聯盟協會等在應用落地和場景示范中發揮積極作用，推動示范應用落地和推廣，構建多維度、多層次的集群網絡化共生生態。（市科技創新委、教育局、工業和信息化局、發展改革委按職責分工負責）
（八）產業空間布局優化工程。發揮南山區智能傳感器企業匯聚、高校和科研院所集聚優勢，以龍頭帶動、應用牽引、產學研用協同為重點，打造智能傳感器核心承載區。發揮龍華區3C電子領域制造基礎優勢，積極培育一批智能傳感器研發設計重點企業，打造智能傳感器研發和應用的特色示范區。圍繞智能傳感器中試熟化與產業化需要，在光明區布局建設兼具量產能力的研發中試線，打造智能傳感器中試熟化與產業化示范區。（市工業和信息化局，南山區政府、龍華區政府、光明區政府按職責分工負責）
五、保障措施
（一）強化組織協調領導。全面統籌智能傳感器產業發展，協調解決重大項目布局、用地保障、基礎設施建設等重大問題。組建深圳市智能傳感器產業發展專家咨詢委員會，聘請國內外知名企業家、學術專家，對產業發展方向選擇、重大項目引進建設評估、國內外產業政策資源對接等提供咨詢意見。（市工業和信息化局、發展改革委、科技創新委、市場監管局按職責分工負責）
（二）加大財政金融支持力度。加大專項資金向智能傳感器產業傾斜力度，激勵企業加大研發、技改投入，支持骨干企業和初創企業發展。對獲得國家科技重大專項、重點研發計劃等國家專項資金支持的項目，按規定落實地方配套資金或聯動資金。鼓勵社會資本通過多種方式進入智能傳感器產業領域，通過智能傳感器產業投資基金引導產業與金融資本深度合作。（市工業和信息化局、地方金融監管局、財政局、發展改革委、科技創新委、深圳銀保監局按職責分工負責）
（三）加快專業產業園建設。結合目前企業產線進行統一布局，積極打造智能傳感器產業園，建設生產所需的標準廠房、基本動力、三廢處理等基礎設施及必要的生活配套設施。鼓勵產業園錯位發展，在項目引進上加強互動和協作。加強園區內企業聯動協作和統一管理，在科研資源、創新平臺、人才培養、基礎設施建設等方面提供資源共享服務。（市工業和信息化局、發展改革委、科技創新委，各區政府、新區管委會、深汕特別合作區管委會按職責分工負責）
（四）強化人才培養引進。支持建設智能傳感器相關的院士工作站、博士后工作站、技術中心、孵化創業中心，鼓勵示范性微電子學院人才培養向智能傳感器方向傾斜，聯合高等院校、科研機構建設跨學科的智能傳感器綜合人才培養基地。（市人力資源保障局、教育局、科技創新委、工業和信息化局按職責分工負責）
