超高純（UHP）壓力傳感器被廣泛地應用于半導體、光伏行業的特氣輸配送系統中，是半導體、光伏廠務供氣特氣柜、工藝設備配氣柜中的關鍵零部件之一。

區別于一般的壓力傳感器，UHP壓力傳感器有以下幾個比較關鍵的特點：

比較寬的量程范圍需求，需要涵蓋機臺端25~50 psi絕壓量程、氣路分配箱100~250 psi絕壓或復合壓量程以及特氣柜250 psi、3000~5000 psi絕壓或復合壓的應用。

潔凈生產過程的需求，需要在全量程范圍內使用高純氮氣進行標定或校準，避免污染傳感器的接液部件，便于后續的潔凈包裝處理。

高精度標定需求，通常UHP壓力傳感器的精度指標要達到+/- 0.2/0.25 %FS，需要一套精度足夠高的標定/校準系統進行線性標定。

低溫漂補償需求，UHP壓力傳感器需要更加可靠的溫補以滿足在經歷吹掃過程時不出現零點溫漂現象。

福祿克8270A模塊化氣體壓力控制器，擁有寬范圍、多量程、高精度氣壓控制的特性，控壓范圍從真空至44 MPa（6600 psi），具有0.01 %FS或0.007 %Rdg測壓精度、0.002 %FS穩壓精度，可同時安裝多達5個測壓模塊，既無量程比限制、又能自動切換量程，單臺8270A控制器即能滿足全量程UHP壓力傳感器的標定或校準，助力傳感器生產企業搭建低成本、高效率的柔性化傳感器標定/溫補系統，實現小批量、多量程按需精益生產的目標。

這里，我們以標定100、250、5000 psi三個量程的UHP壓力傳感器為例，只需一臺8270A搭配6000 psi和300 psi兩個量程的測壓模塊，即能標定上述三個量程UHP壓力傳感器，并且標定系統的精度優于對應量程的0.03 %。

同時，通過8270A主機集成的電磁閥驅動器控制三路電磁閥開或閉，實現三個量程的傳感器在烘箱的一次升降溫過程中實現多量程混合標定。

1、標定100 psi量程，三路電磁閥均打開，8270A自動選擇300 psi量程模塊進行控壓、穩壓。

2、標定250 psi量程，上路電磁閥關閉，8270A仍舊使用300 psi量程模塊進行控壓、穩壓。

3、標定5000 psi量程，僅下路電磁閥打開，8270A自動切換為6000 psi量程模塊進行控壓、穩壓。