近日，廣州五所環境儀器有限公司牽頭主持的國家重點研發計劃“基礎科研條件與重大科學儀器設備研發”重點專項“半導體功率器件多參數綜合測試儀”項目啟動會暨實施方案論證會在電子五所廣州增城總部順利召開。項目專家組7位專家現場出席會議，工業和信息化部高新技術司未來產業處和項目管理單位中國21世紀議程管理中心領導，電子五所黨委書記恩云飛、有關部門負責人，項目負責人、各課題負責人與項目組骨干等40余人參加了此次會議。

圖1 項目啟動會暨實施方案論證會會議現場

本項目匯聚了工業和信息化部電子第五研究所、廣州五所環境儀器有限公司、博測銳創半導體科技(蘇州)有限公司、中國科學院電工研究所、合肥工業大學、西安交通大學、電子科技大學、北京智芯微電子有限公司等八家高校、研究所和重點企業的優秀研究人員，我所重點實驗室陳媛研究員任項目負責人。半導體功率器件多參數綜合測試儀是對半導體功率器件進行電學性能參數測試的硬件和軟件一體化的設備。隨著我國電動汽車、軌道交通、電網等產業的快速發展，對高性能和高效能的半導體功率器件特別是SiC、GaN、Ga2O3等寬禁帶半導體器件有著巨大的需求，寬禁帶半導體功率器件具有擊穿電壓更高、電流能力更強、開關速度更快等工作特點，對半導體功率器件多參數綜合測試儀的性能指標提出了更高的要求。目前，國外kV/kA級的半導體功率器件多參數綜合測試儀主要被美國、日本等國外廠商所壟斷，國內部分廠家近年來也開始自主研發生產，但儀器的性能指標、精度水平、可靠性及穩定性普遍落后于國外儀器。本項目旨在開發具有自主知識產權、質量穩定可靠、核心部件國產化的半導體功率器件多參數綜合測試儀，實現國產化替代。

此次會議圓滿落幕之后，各承研單位之間將更加緊密地合作，實現優勢互補，協調共進，力求高質量完成項目各項研究任務。

圖2  項目組向專家組介紹綜合測試儀的原型樣機

圖3  項目啟動會暨實施方案論證會合影