溫度計能測溫度

體重秤能測體重

這背后發(fā)揮關(guān)鍵作用的就是

傳感器

傳感器就像是電子設(shè)備的“眼睛”和“耳朵”

能感知各種信息

比如溫度、壓力、光線等等

然后把這些信息變成電信號

讓設(shè)備“看懂”“聽懂”

“小物件”喚起“大能量”

今天就來聊聊

MEMS 壓力傳感器

“小巧玲瓏”的它

是傳感器家族里的一員

因為體積很小

可以集成在各種小小的設(shè)備里

專門負(fù)責(zé)測量壓力

而基于Cavity-SOI 原理的

壓阻式絕壓壓力傳感器

是MEMS壓力傳感器中的一種特殊類型

憑借獨特的技術(shù)原理和結(jié)構(gòu)

它實現(xiàn)了更精準(zhǔn)的絕對壓力測量

比如您給輪胎打氣時

想知道輪胎內(nèi)部的壓力到底夠不夠

或在工廠要確保管道中的液體壓力處于安全范圍

就得靠它來幫忙測量壓力

它的工作原理是采用了一種巧妙的“壓阻式”方法

可以把它想象成一個很敏感的小彈簧

當(dāng)有壓力作用在上面時

它就會被壓縮或拉伸

從而改變內(nèi)部的電阻

而通過檢測這個電阻的變化

就能精確地知道壓力的大小

Cavity-SOI技術(shù)是通過在SOI晶圓上

制造一個封閉的空腔來實現(xiàn)絕壓測量

這就像是給這個傳感器加上了一層超級防護(hù)

讓它測量壓力的時候更精準(zhǔn)、更穩(wěn)定

就好比給運動員穿上了合腳的跑鞋

能輔助他們跑得更快、發(fā)揮更穩(wěn)定

在日常中，還有哪些場景與它相關(guān)？

在汽車領(lǐng)域，它是引擎管理系統(tǒng)、制動系統(tǒng)和氣候控制系統(tǒng)的好幫手；在工業(yè)領(lǐng)域，它常用于液壓系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)和過程控制系統(tǒng)，提供實時壓力數(shù)據(jù)，幫助控制系統(tǒng)及時調(diào)整和維護(hù)；在醫(yī)療方面，它被用于呼吸機、血壓監(jiān)測儀和其他醫(yī)療設(shè)備；在消費電子領(lǐng)域，諸如智能手機、智能手表等產(chǎn)品中也有它的身影。

中國電科58所打造的150kPa和700kPa兩款MEMS壓阻式絕壓壓力傳感器，具有高精度、高可靠、低功耗、穩(wěn)定性強、抗干擾能力強、尺寸微型化等突出特點。

其中，150kPa的傳感器常用于優(yōu)化燃油噴射和點火時機，提升汽車的燃油效率和動力性能。在醫(yī)療領(lǐng)域，也能精準(zhǔn)監(jiān)測呼吸機中的氣道壓力，為患者的呼吸治療提供可靠保障。在智能手機中，其氣壓計功能可幫助實現(xiàn)海拔高度測量和準(zhǔn)確的天氣預(yù)報。700kPa的傳感器是渦輪增壓引擎的得力伙伴，能夠精確測量引擎壓力，確保發(fā)動機在高負(fù)載下的安全運行。在醫(yī)療方面，對于像體外循環(huán)設(shè)備這類需要更高壓力監(jiān)測的設(shè)備，它能夠提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)，保障醫(yī)療操作的順利進(jìn)行。

目前，58所正在進(jìn)行絕壓產(chǎn)品壓力量程系列化拓展，向著100kPa~2000kPa絕壓壓力量程產(chǎn)品全覆蓋及量產(chǎn)化的目標(biāo)前進(jìn)。不斷致力于技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品優(yōu)化，為千行百業(yè)提供更多高性能、高可靠性的MEMS傳感器產(chǎn)品。