光刻機進場 開啟“芯”動力

助力廣東打造集成電路產業“第三極” 廣州增芯項目進入調試投產準備階段

3月11日10時40分左右，在廣州增芯科技有限公司一期廠房的潔凈室內，在光刻區特有的淡黃色的燈光下，身穿防塵服的工作人員正忙著為新搬入的光刻機進行定位。

當日，增芯科技12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目（簡稱“增芯項目”）光刻機搬入活動在項目現場舉行，這標志著增芯項目迎來建設的關鍵性節點，進入調試投產準備階段。

正式通線量產指日可待

項目布局：近年來，增城加快構建以“芯顯車”為主導的現代化產業體系，在培育發展集成電路產業方面，相繼布局了增芯、越海等一批規模大、能級高、帶動力強的骨干項目，覆蓋集成電路“四梁八柱”中制造、封測、裝備、材料和平臺等關鍵環節。

增芯項目是廣東省、廣州市重點項目，打造國內第一條12英寸智能傳感器（MEMS）及特色工藝生產線，對增城乃至廣州、廣東集成電路產業發展具有重要意義。

當天上午，記者在增芯項目現場看到，伴隨著屏幕上光刻機從制造下線到運輸送達的紀錄片，在全場嘉賓的見證下，承載著光刻機的車輛緩緩啟動，將設備運入廠房，完成了增芯項目的重要歷史時刻。

光刻機搬入廠房，進入調試投產準備階段

“可以說，光刻機一進場，距離正式通線量產就指日可待。”增芯科技有限公司總經理張亮在現場接受采訪時表示，光刻機作為整個集成制造中最關鍵的核心設備，資金投入占比高達工廠建設25%。

據張亮透露，此次光刻機的搬入，意味著增芯項目迎來建設的關鍵性節點，順利進入調試投產準備階段。“我們計劃在今年6月完成首批設備的安裝，今年12月底完成滿足良率的產品下線，目前這兩個節點正在順利推進中。”

增芯項目自2022年底動工起，僅用9個月零6天完成自樁基啟動至主廠房封頂建設，實現了“開工一年裝機”，封頂至今僅5個多月便迎來了生產線最核心的裝備——光刻機，步入設備安裝調試階段，充分展現了敢為人先的“增城速度”“增芯速度”，切實為廣州東部中心成型起勢提供強支撐、“芯”動力。

“2021年，我也曾站在這里，拿著手機拍過幾張照片，那時還是雜草可齊腰、牛羊在吃草的田園景象。”廣州智能傳感器產業集團董事長、上海興橙投資董事長、廣州增芯科技有限公司董事長陳曉飛回想三年前項目的場景，充滿感慨，“如今，增芯經過了9個月土建封頂，12個月首臺套設備搬入，今天更是迎來了工廠最核心設備——光刻機的搬入，我們一步一個腳印，信心滿滿，充滿希望。”

“這幾年，我們抓住集成電路產業這一新質生產力高速發展的時間窗口，在增城國家級開發區，全力以赴規劃發展半導體第三極，為高水平科技自立自強注入全新力量。”陳曉飛表示，作為民營企業，決心與產業界的上下游一同打造大灣區的“硅谷”，打造出中國集成電路的又一生態圈。

做好全鏈條要素保障

目前，增城正不斷加快建設高端電子信息新材料產業園，加速打造智能傳感器產業園，著力推動全產業鏈條完整集聚，構建粵港澳大灣區的半導體產業聚集區和產業高地，助力廣州打造全國集成電路產業集聚區，助力廣東打造國家集成電路產業發展“第三極”。

作為廣州半導體與集成電路“一核兩極多點”產業格局中重要兩極之一，未來，廣州市和增城區將全力以赴優化營商環境，繼續提供最優質、最便捷、最高效的“全生命周期服務”，大力支持增芯項目建設，做好全鏈條要素保障，保障順利投產。