國產(chǎn)電子束光刻機實現(xiàn)自主可控，是實現(xiàn)我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的重要一環(huán)。近日，松山湖材料實驗室精密儀器聯(lián)合工程中心產(chǎn)業(yè)化項目研發(fā)再獲新突破：項目團隊成功研制出電子束光刻系統(tǒng)，在全自主電子束光刻機整機的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化過程中取得階段性進展，初步實現(xiàn)了電子束光刻機整機的自主可控，標志著國產(chǎn)電子束光刻機研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化邁出關(guān)鍵一步。

電子束光刻是利用聚焦電子束對某些高分子聚合物（電子束光刻膠）進行曝光并通過顯影獲得圖形的過程，而產(chǎn)生聚焦電子束并讓聚焦電子束按照設(shè)定的圖形掃描的儀器就叫做電子束光刻機。它是推動我們當前新材料、前沿物理研究、半導體、微電子、光子、量子研究領(lǐng)域的重要手段之一。此前，全球電子束光刻機市場高度集中，主要由美日企業(yè)壟斷，我國尚未掌握該領(lǐng)域核心技術(shù)，裝備長期依賴進口。

松山湖材料實驗室精密儀器研發(fā)團隊作為首批入駐實驗室的團隊之一，專注于材料和半導體領(lǐng)域的精密加工、表征和測量設(shè)備研發(fā)。團隊負責人許智已從事相關(guān)研究近20年，參與承擔多項國家重點研發(fā)計劃專項工作及國家重大科研裝備研制項目，近5年帶領(lǐng)產(chǎn)業(yè)化團隊研發(fā)的精密儀器成果轉(zhuǎn)化填補多項國產(chǎn)空白，產(chǎn)值超億元，產(chǎn)品出口美國、英國、德國、澳大利亞。

為了研制具有自主知識產(chǎn)權(quán)的電子束光刻機整機，精密儀器研發(fā)團隊在松山湖材料實驗室完成一期項目研發(fā)并成立產(chǎn)業(yè)化公司后，帶資回到實驗室進入“滾動發(fā)展”模式：產(chǎn)業(yè)化公司東莞澤攸精密儀器有限公司與實驗室共同投資2400萬元進行第二階段研發(fā)，目標是打造集科研與產(chǎn)業(yè)化為一體的電子束裝備技術(shù)創(chuàng)新基地。通過深入開展電子束與新材料交叉領(lǐng)域的前沿技術(shù)研發(fā)，實現(xiàn)關(guān)鍵裝備和共性技術(shù)的自主可控，切實提升我國在電子束加工與制備領(lǐng)域的整體創(chuàng)新能力和產(chǎn)業(yè)競爭力。

目前，東莞澤攸精密儀器有限公司已基于自主研制的掃描電鏡主機，完成電子束光刻機工程樣機研制，并開展功能驗證工作。通過對測試樣片的曝光生產(chǎn)，可以繪制出高分辨率的復雜圖形，朝著行業(yè)先進水平穩(wěn)步前進。該成果標志著澤攸科技在電子束光刻機關(guān)鍵技術(shù)和整機方面的自主創(chuàng)新能力獲得重大提升。下一步，團隊及產(chǎn)業(yè)化公司將持續(xù)完善電子束光刻機的性能指標，使其達到批量應(yīng)用及產(chǎn)業(yè)化的要求。

以下是電子束光刻機部分應(yīng)用案例：