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印度研發水下壓電MEMS聲學傳感器,滿足國防應用需求


據麥姆斯咨詢報道,印度理工學院馬德拉斯分校(IIT Madras)的研究人員與印度國防研究與發展組織(DRDO)的科學家合作,面向國防應用(特別是海軍應用)開發了一種用于水下通信的尖端壓電聲學傳感器。


這項技術的本土開發使印度能夠以相對較低的成本完成制造,與之相比,國際代工廠的制造成本很高,且可選擇的代工廠數量也有限。


研究人員利用壓電MEMS技術開發高性能薄膜,并將這種壓電薄膜轉化為最先進的未來海軍傳感器和水下應用器件。壓電薄膜是壓電MEMS器件的重要組成部分,可用于聲學和振動傳感應用。


這項研究由IIT Madras的Amitava Das Gupta教授和Boby George教授領導的研究團隊和DRDO科學家E. Varadarajan博士和V. Natarajan博士合作完成。他們通過與多方合作伙伴合作,自主開發了壓電MEMS工藝技術,以制造基于壓電薄膜的MEMS聲學傳感器。



尖端壓電MEMS技術的開發,將有力支撐印度的國防能力,能夠執行關鍵應用的戰略行動。大面積壓電薄膜和MEMS工藝技術,可為印度海軍DRDO下一代SONAR計劃正在進行及未來的技術提供支持。


IIT Madras院長Manu Santhanam教授對該項目的研究人員和科學家表達了祝賀,他說:“DRDO和學術界合作的成果促進成了這項新技術的發展,這對印度海軍來說是至關重要的使能技術?!?



在全球范圍內,美國、歐洲、韓國、日本和中國的許多研究小組和國防實驗室都投入了壓電技術的開發。多家壓電MEMS代工廠正在生產面向國防和民用應用的各種壓電MEMS器件。目前,基于壓電薄膜的壓電器件市場規模約50億美元,預計未來3~4年該市場將以12%的復合年均增長率(CAGR)增長。


IIT Madras電氣工程系Amitava Das Gupta教授補充道:“相關制造設施在IIT Madras建設,這是IIT Madras和DRDO共同取得的偉大成就?!?


這項壓電MEMS技術的本土開發,填補了印度水下應用壓電MEMS聲學傳感器的技術空白。該研究采用射頻濺射和溶膠-凝膠技術制備了4英寸(直徑100 mm)壓電薄膜,具有良好的均勻性和較高的壓電性能。

DRDO科學家Varadarajan博士強調,壓電MEMS工藝技術的主要挑戰是惡劣水下環境、高壓和海水腐蝕性環境中所需要的高可靠性和耐用性。


聯合研究團隊成功開發了壓電MEMS工藝,可用于完整制造聲學傳感器,并且不會降低壓電薄膜的性能。所制備的PZT薄膜聲學傳感器,相比傳統聚偏二氟乙烯(PVDF)基傳感器表現出了更高的性能。這項尖端傳感器技術使研究人員能夠制造出高性能的壓電MEMS聲學器件,這將有利于印度國防應用。


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