2月20日，中國科學(xué)技術(shù)協(xié)會2023“科創(chuàng)中國”年度會議在北京舉行，會議上舉行了"科創(chuàng)中國"系列榜單發(fā)布儀式。榜單經(jīng)初評、終評，遴選出先導(dǎo)技術(shù)榜150項、新銳企業(yè)榜100項、融通創(chuàng)新組織榜10項、創(chuàng)業(yè)就業(yè)先鋒榜50項、技術(shù)經(jīng)理人先鋒榜20項、國際創(chuàng)新合作50項、開源創(chuàng)新榜30項，共計410項擬入榜項目。

“科創(chuàng)中國”聯(lián)合體理事長、中國工程院院士周濟介紹了2022年系列榜單征集遴選情況，并與中國科協(xié)副主席、中國工程院院士陳學(xué)東，中國科學(xué)院院士陳潤生等評審專家代表共同揭曉榜單。

中國科學(xué)技術(shù)協(xié)會是我國科學(xué)技術(shù)工作最主要的民間團體之一，下轄189個全國性學(xué)會和32個省級科協(xié)，與傳感器產(chǎn)業(yè)息息相關(guān)的中國儀器儀表學(xué)會、中國電子學(xué)會等均在其中。

“科創(chuàng)中國”是中國科協(xié)推出的平臺品牌，旨在構(gòu)建資源整合、供需對接的技術(shù)服務(wù)和交易平臺，為建設(shè)世界科技強國作出新的更大的貢獻。從2020年開始，中國科協(xié)攜手眾多業(yè)界院士、專家和地方學(xué)會、機構(gòu)，推出“科創(chuàng)中國”系列榜單，圍繞服務(wù)國家重大戰(zhàn)略需求，促進創(chuàng)新鏈和產(chǎn)業(yè)鏈深度融合，為前沿技術(shù)的轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)落地起到了帶動和示范作用，為科技創(chuàng)新和人才就業(yè)提供有力支撐。

其中，先導(dǎo)技術(shù)榜，聚焦高質(zhì)量發(fā)展的新領(lǐng)域新賽道，著重有重大突破、商業(yè)模式可見、商業(yè)潛力巨大的技術(shù)成果，圍繞電子信息、生物醫(yī)藥、裝備制造、先進材料、綠色低碳、產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)6大方向，遴選出150項前沿技術(shù)。

“科創(chuàng)中國”系列榜單極具重量級和權(quán)威性，被認(rèn)為是科創(chuàng)領(lǐng)域的國家級榜單。2022年“科創(chuàng)中國-先導(dǎo)技術(shù)榜”中，有MEMS激光雷達、高溫柔性溫度傳感器、全國產(chǎn)化高端壓力傳感器等10項傳感器技術(shù)入選。

1、MEMS激光雷達

技術(shù)團隊：北京一徑科技有限公司

推薦單位：中國電子學(xué)會

所屬領(lǐng)域：電子信息領(lǐng)域

一徑科技成立于2017年，是國內(nèi)較早做面向車載應(yīng)用的固態(tài)激光雷達的團隊，提供高性能、小型集成化、可量產(chǎn)的車規(guī)級全固態(tài)激光雷達產(chǎn)品，賦予無人駕駛汽車、機器人等人工智能應(yīng)用可靠穩(wěn)定、寬視角、遠距離及高分辨率的三維深度視覺能力。一徑科技MEMS激光雷達是本次榜單中唯一入選的激光雷達技術(shù)。

非同軸的MEMS激光雷達架構(gòu)，是其產(chǎn)品的一大特色。一徑科技認(rèn)為：MEMS技術(shù)是近10年既滿足自動駕駛系統(tǒng)高性能的要求，又滿足車規(guī)級可靠性、低成本和大規(guī)模量產(chǎn)的最佳技術(shù)路線。

2019年1月，一徑科技推出第一顆激光雷達產(chǎn)品ML-30，此后一經(jīng)科技推出ML-30s、ML-Xs等MEMS激光雷達，2023年1月在美國CES展上正式發(fā)布全新短距補盲激光雷達產(chǎn)品—ML-30s+，并計劃在今年內(nèi)實現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)交付。

2、應(yīng)用于極端環(huán)境的柔性溫度傳感器

技術(shù)團隊：西安交通大學(xué)

推薦單位：中國機械工程學(xué)會

所屬領(lǐng)域：產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)領(lǐng)域

高溫溫度測量技術(shù)是高溫制造裝備設(shè)計、制造、生產(chǎn)與運維等過程的關(guān)鍵技術(shù)，尤其在鋼鐵冶金、航空航天與石油化工等領(lǐng)域有著迫切的應(yīng)用需求。可用于鋼鐵冶煉過程高溫精確控制、航空航天高溫部件及流道溫度測量、物理化學(xué)炸藥爆炸溫度場檢測等。

基于Seebeck原理，基于靜電紡絲技術(shù)，在柔性鋁硅氧的紡絲基底上采用高Seebeck系數(shù)且具有良好熱電效應(yīng)的氧化銦、氧化銦錫、鉑等材料作為溫度感知材料。實現(xiàn)瞬時1300℃的燃?xì)鉀_刷溫度測試，將現(xiàn)有柔性溫度傳感器溫域擴大> 550%，響應(yīng)時間<2ms，實現(xiàn)柔性傳感器在700℃下的長時間下高溫環(huán)境測試。

同時，制備的樣機已在渦輪發(fā)動機、多種物理化學(xué)爆炸場、燃?xì)饬鲌鲞M行初步測試與應(yīng)用驗證,實現(xiàn)無損無擾流的原位溫度場檢測。目前，國內(nèi)的高溫溫度傳感器在材料、加工、標(biāo)定、工程應(yīng)用等技術(shù)方面尚不成熟，尤其在高溫環(huán)境下的柔性溫度傳感器，更是存在“量不了、測不準(zhǔn)”的測量瓶頸。

國外在該領(lǐng)域?qū)ξ覈M行長期技術(shù)封鎖與產(chǎn)品壟斷,國內(nèi)“得不到”成熟產(chǎn)品、“摸不清”關(guān)鍵技術(shù)，亟需開展應(yīng)用于極端環(huán)境下的柔性高溫溫度傳感器關(guān)鍵技術(shù)研究，推動我國高端裝備制造技術(shù)發(fā)展。

3、面向全國產(chǎn)化應(yīng)用需求的高端壓力傳感器

技術(shù)團隊：西安思微傳感科技有限公司

推薦單位：中國航空學(xué)會

所屬領(lǐng)域：產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)領(lǐng)域

思微科技成立于2021年2月，是航空618所的子公司，思微科技依托于自控所的MEMS工藝制造平臺，以中高端壓力測量為出發(fā)點，旨在打造一家完全自主可控的中高端壓力芯片及傳感器級產(chǎn)品供應(yīng)商，解決核心領(lǐng)域傳感器的需求問題。

本技術(shù)涉及高精度硅諧振壓力傳感器與高溫硅壓阻壓力傳感器兩大系列產(chǎn)品。其中，高精度硅諧振壓力傳感器采用了目前最先進的諧振檢測技術(shù)，通過檢測因應(yīng)力變化而產(chǎn)生的頻率的變化，實現(xiàn)溫度范圍-55℃~ 85℃，全量程綜合精度0.01%FS的產(chǎn)品研制，處于國內(nèi)領(lǐng)先水平。

高溫硅壓阻壓力傳感器采用基于SOI工藝的惠斯通電橋技術(shù)方案，通過檢測電阻阻值變化即可實現(xiàn)壓力的測量。公司已具備從芯片設(shè)計、制作到整表級封裝、測試的全流程能力，目前已實現(xiàn)耐溫200℃的多量程譜系產(chǎn)品。

4、高性能MOEMS晶圓制造技術(shù)

技術(shù)團隊：中國兵器工業(yè)第二一四研究所

推薦單位：中國兵工學(xué)會

所屬領(lǐng)域：產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)領(lǐng)域

高性能MOEMS晶圓制造技術(shù)主要針對準(zhǔn)靜態(tài)MEMS微鏡、MOEMS掃描鏡等MOEMS產(chǎn)品的晶圓制造領(lǐng)域。

中國兵器工業(yè)第二一四研究所突破高性能MOEMS晶圓制造系列關(guān)鍵技術(shù)，多項技術(shù)和產(chǎn)品填補國內(nèi)空白，建立了國際先進、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的垂直不等高驅(qū)動器制備技術(shù)體系，實現(xiàn)了光衰減器、光開關(guān)陣列、可調(diào)光濾波器、MOEMS掃描鏡等產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)。

這些產(chǎn)品是光交叉、智能光束控制和掃描成像的核心芯片，在5G通信、激光雷達、無人駕駛、智慧工業(yè)等新基建產(chǎn)業(yè)具有廣闊的應(yīng)用前景，是國家發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的重要支撐。

5、全鏈條高溫應(yīng)變傳感器研制-標(biāo)定-檢測-補償技術(shù)

技術(shù)團隊：北京科技大學(xué)

推薦單位：北京市科學(xué)技術(shù)協(xié)會

所屬領(lǐng)域：產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)領(lǐng)域

技術(shù)團隊發(fā)明了全鏈條高溫應(yīng)變傳感器制備-標(biāo)定-檢測-補償成套系統(tǒng)與方法。通過敏感材料細(xì)晶化，提高了高溫應(yīng)變傳感器使用溫度，研制出自由框架絲柵式高溫應(yīng)變傳感器；提出了四點彎等應(yīng)變反饋控制位移、力值加載及智能功率溫度控制方法，開發(fā)了高溫應(yīng)變傳感器特性參數(shù)標(biāo)裝置；提出了溫度參數(shù)對實測應(yīng)變修正補償時變模型，開發(fā)了高溫應(yīng)變精度修正軟件，獨創(chuàng)了高溫應(yīng)變傳感器穩(wěn)定化處理規(guī)范，實現(xiàn)了高溫應(yīng)變高精度測量。

技術(shù)團隊開發(fā)了高溫應(yīng)變傳感器參數(shù)標(biāo)定裝置系列產(chǎn)品,，服務(wù)于多項國家重大儀器設(shè)備開發(fā)專項、國家重點研發(fā)計劃等項目，還為國內(nèi)多家企業(yè)提供了高溫應(yīng)變傳感器標(biāo)定服務(wù)，獲取了應(yīng)變傳感器關(guān)鍵特性參數(shù)。

6、77GHz毫米波雷達芯片技術(shù)

技術(shù)團隊：中國電子科技集團公司第三十八研究所

推薦單位：中國電子科技集團有限公司

所屬領(lǐng)域：產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)領(lǐng)域

77GHz毫米波雷達芯片作為汽車?yán)走_傳感器的核心器件，是國際公認(rèn)的難以攻克的領(lǐng)域，技術(shù)難度高，市場潛力巨大。

中國電子科技集團公司第三十八研究所毫米波雷達芯片團隊基于硅基工藝，實現(xiàn)毫米波雷達收發(fā)前端單芯片集成；基于扇出型晶圓級封裝技術(shù)，實現(xiàn)毫米波天線封裝內(nèi)集成；建立毫米波傳感器芯片測試驗證系統(tǒng)，并通過傳感器應(yīng)用驗證，形成一整套解決方案；在項目產(chǎn)品研制及產(chǎn)業(yè)化過程中形成一系列產(chǎn)品及多項相關(guān)技術(shù)成果，推動這些成果在新能源汽車及智能網(wǎng)聯(lián)汽車上的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

7、新一代UWB室內(nèi)高精度感知技術(shù)

技術(shù)團隊：清研訊科（北京）科技有限公司

推薦單位：中國電子學(xué)會

所屬領(lǐng)域：電子信息領(lǐng)域

清研訊科成立于2014年，核心團隊來自清華大學(xué)測試技術(shù)與儀器國家重點實驗室，是全系列工業(yè)精確定位產(chǎn)品與解決方案提供商。LocalSense無線定位技術(shù)（自主），實現(xiàn)了與傳統(tǒng)粗定位系統(tǒng)的 1-1.5 代的技術(shù)代差、實現(xiàn)了與一般精確定位方案 1.5-2 年的領(lǐng)先度，2021年入選工業(yè)和信息化部第三批專精特新“小巨人”企業(yè)公示名單。

清研訊科UWB室內(nèi)高精度感知技術(shù)采用自研算法，利用無線脈沖測距，實現(xiàn)準(zhǔn)確的、穩(wěn)定的、多環(huán)境適應(yīng)的位置分析解算能力，突破實現(xiàn)了10cm級定位精度，入選電子信息領(lǐng)域先導(dǎo)技術(shù)榜。

8、“感算一體”動態(tài)視覺智能SoC-Speck

技術(shù)團隊：成都時識科技有限公司

推薦單位：成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)管理委員會

所屬領(lǐng)域：電子信息領(lǐng)域

SynSense時識科技（原名aiCTX）創(chuàng)立于2017年，是全球領(lǐng)先的類腦智能與應(yīng)用解決方案提供商。

SynSense時識科技“感算一體”動態(tài)視覺智能SoC-Speck，是唯一入榜類腦芯片技術(shù)，以啟發(fā)自生物的“類腦”+“類眼”技術(shù)在能耗及延遲等方面的量及提升為基礎(chǔ)優(yōu)勢，基于自主研發(fā)的Dynap-CNN芯片架構(gòu)及計算架構(gòu)，結(jié)合動態(tài)視覺傳感器及脈沖神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)處理器模塊、Sinabs模型訓(xùn)練及SNN仿真驗證平臺，Speck聚焦智能設(shè)備終端傳感信息實時處理運算。

無需聯(lián)網(wǎng)，Speck可在毫瓦級功耗下實現(xiàn)always-on的手勢控制、面部識別、人臉檢測、行為分析、跌倒監(jiān)測、姿勢識別等交互任務(wù)，獨立勝任設(shè)備端上視覺智能交互等應(yīng)用場景，降低對計算資源及算力的依賴，實現(xiàn)純邊端感知即處理的超低延遲、超低功耗智能視覺信息處理。

9、單分子基因測序技術(shù)

技術(shù)團隊：深圳市真邁生物科技有限公司

推薦單位：深圳市科學(xué)技術(shù)協(xié)會

所屬領(lǐng)域：生物醫(yī)藥領(lǐng)域

真邁生物成立于2012年，致力于基因檢測設(shè)備及試劑的研發(fā)，2018年落戶羅湖大梧桐新興產(chǎn)業(yè)帶，成功研發(fā)出亞洲第一臺具有世界領(lǐng)先水平的單分子基因測序儀，成為國際上屈指可數(shù)的擁有自主基因測序儀品牌的硬科技企業(yè)。

基因測序儀的核心技術(shù)之一是基于MEMS制造工藝的微流控芯片，也被稱為芯片實驗室（Lab-on-a-chip）。真邁生物是此次生物醫(yī)藥領(lǐng)域上榜成果中唯一的基因測序技術(shù)成果。

真邁生物基于單分子測序技術(shù)推出的GenoCare 1600單分子基因測序儀，無需依托于特定的固相PCR或滾環(huán)擴增技術(shù)進行信號放大，即可直接實現(xiàn)對結(jié)合在芯片表面的“單拷貝核酸分子”進行序列的讀取工作。單分子測序技術(shù)搭配PCR-free的文庫制備流程可使檢測結(jié)果更真實地反應(yīng)樣本的原始狀態(tài)，保持檢測結(jié)果的高準(zhǔn)確性，尤其在小片段微缺失微重復(fù)、低比例嵌合異常等樣品的檢出、定量分析上更具優(yōu)勢。

10、嵌入式光纖微探頭超精密激光干涉儀

技術(shù)團隊：哈爾濱工業(yè)大學(xué) 超精密光電儀器工程研究所

推薦單位：中國儀器儀表學(xué)會

所屬領(lǐng)域：裝備制造領(lǐng)域

激光干涉測量儀器在光刻機等高端裝備集成、納米傳感器計量校準(zhǔn)以及新材料特性表征等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。

作為激光干涉測量儀器發(fā)展的新方向，與傳統(tǒng)激光干涉儀相比，微探頭傳感器式激光干涉儀測頭集成度極高、體積極小，易嵌入實驗裝置或精密裝備中，在狹小空間中執(zhí)行測量任務(wù)；測頭與主機僅通過單根光纖連接，裝調(diào)便捷且不引入熱污染，易達成超精密測量目標(biāo)。

微探頭傳感器式激光干涉儀在航空裝備領(lǐng)域、高端測量裝備領(lǐng)域、精密計量測試領(lǐng)域、光刻領(lǐng)域等具備廣泛應(yīng)用，支撐裝備制造中的傳感式超精密測量需求，為我國高端光刻機研發(fā)提供嵌入式在線測量手段，為納米計量測試提供核心儀器。

結(jié)語

由中國科協(xié)推出的“科創(chuàng)中國”系列榜單，一年一度，可謂是中國科技領(lǐng)域年度國家級重磅榜單，極具重量級和權(quán)威性。

本次“科創(chuàng)中國”先導(dǎo)技術(shù)榜單中，有10項來自傳感器領(lǐng)域，而這里面又有5項先導(dǎo)傳感器技術(shù)來自于產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)領(lǐng)域，可見傳感器在國家科技體系中發(fā)揮的重要基礎(chǔ)性作用，傳感器的重要性可見一斑。