11月15日深圳市智能傳感器產業聯盟日前在深圳市光明區成立，總規模50億元的智能傳感器產業基金也將落地。40家產業基金、重大平臺、重點項目與光明區簽署合作協議，將共同推進“深圳市智能傳感器中試熟化與產業化示范區”“粵港澳大灣區智能傳感器產業集聚發展的先鋒區”“全球智能傳感器核心技術的重要策源地”建設。
據相關負責人介紹，設立智能傳感器產業基金旨在對總投資不低于1億元的新建設智能傳感器晶圓生產線的企業，按經評審核定的項目固定資產實際投資額的20%予以資助，單個項目資助金額最高可達5000萬元。
深圳市光明區有良好的產學研制基礎和產業需求支撐，聚集了諾安環境、紐迪瑞科技、森世泰科技、美思先端4家規上工業企業，培育了歐菲光（002456）、信泰光學等龍頭企業。2021年，光明區智能傳感器產業實現工業產值約7億元。
值得關注的是，光明區還宣布將規劃建設一條總投資15.33億元、產能達3000片的8吋MEMS中試線。該項目具備熱電堆、MEMS壓力、MEMS麥克風、MEMS慣性傳感、微流控和微振鏡等工藝平臺，可以幫助相關中小企業實現從MEMS工藝研發、中試到小規模量產的無縫對接。同時，對利用光明區MEMS中試平臺流片的企業，產業基金將按首次流片費用的60%，給予每家企業每年最高600萬元的資助。
據了解，當前，光明區正依托鵬城實驗室、中科院深圳先進院等科研機構，打造了異質異構硅基光子芯片工藝平臺、高端科研儀器研究中心等創新平臺，為企業突破光電子芯片技術瓶頸提供關鍵支撐。
下一步，光明區將聚焦智能傳感器設計、制造等環節，加快核心智能傳感器、特色工藝、先進封裝技術、關鍵材料等領域攻關，爭取到2025年產值突破100億元，占深圳市總規模的25%左右。
