無人駕駛、電子穩定、自動導航……萬物互聯時代，汽車產業的發展逐漸進入電動化、智能化和無人化的新時期，在這背后，有一項關鍵技術發揮重要作用，這就是微電子機械系統（MEMS）。

“MEMS尺寸最大的不超過一個厘米，最小的僅為幾個微米。就是這么微小的器件，能夠把信息的獲取、處理和執行集成在一起，組成具有多功能的微型系統，從而大幅度地提高系統的自動化、智能化和可靠性水平。”作為國內最早從事MEMS技術與產品探索研發的企業，近年來，電科產業基礎研究院河北美泰電子科技有限公司（簡稱“美泰科技”）始終以雄厚的技術實力、扎實的產品積累，沿著產業化創新發展之路，領跑汽車傳感器新賽道。

慣性器件新發展，搶占自動駕駛制高點

“這個車的方向盤自己轉，不用人操作，即可自動駕駛。”技術人員介紹，使用慣性傳感器就能感受汽車最基本的速度、位置的變化，實現自動泊車、自動駕駛，而這其中的關鍵核心技術是該公司完全自主研發的。“MEMS慣性器件是汽車自動駕駛的傳感器核心芯片，可應用于檢測和測量汽車加速度、傾斜、旋轉和多自由度運動，是解決導航、定向和運動載體控制的重要部件。”技術專家介紹，該系列慣性器件，具有體積小、重量輕、可靠性高、功耗低、成本低、可大批量生產等優點，已經通過了車規級最高規格的AEC-Q100認證。

之所以能夠通過嚴苛的車規級認證，與美泰科技長期在MEMS領域的專注與堅持是分不開的。

作為國內MEMS慣性器件的先行者，美泰科技率先開始了MEMS技術與產品的探索與研發，推出了我國首款實用化MEMS加速度傳感器，占領了慣性技術的高地。瞄準產業化市場，美泰科技敏銳洞察到了MEMS慣性器件在汽車領域中的重要作用，推出了集成的MEMS慣性/衛星組合導航系統，該款產品能夠輸出高實時性、高連續性的車輛姿態、方位、位置、速度信息等傳感數據，具有不間斷厘米級定位精度、不受外界干擾等獨特優勢，實現了對自動駕駛汽車“全天候”精確定位定向，也在國際上首次實現MEMS慣性器件用于自動駕駛領域，目前已成功批量應用于國內主流頭部車企重點車型，累計出貨超20萬套。

發揮感知力量，領跑汽車傳感器新賽道

“我們研發生產的都是超小體積的高科技產品，通過創新工藝讓汽車傳感器產品具有更多可能！”在美泰科技的傳感器部，產品設計師拿起了最新的8英寸倒裝焊壓力晶圓。“這一片上面有2萬顆感應芯片，每個芯片只有一顆小米粒大小，比以前的傳統技術芯片體積縮小了幾百倍，但靈敏度更高了！”

這種自主研發的倒裝焊壓力芯片通過無引線裝技術，可以應用在各種介質中，具有應力小、精度高、體積小、低成本的優勢，廣泛用于汽車機油壓力、發動機進氣壓力、空調系統、油箱蒸汽壓力、新能源電池溫度壓力等領域，已累計出貨近百萬只。

倒裝焊壓力芯片的研發是公司主動應對市場需求進行的創新突破。

近年來，美泰科技不斷加大研發投入、持續提升產能、加強供應鏈建設、強化質量改進，實現MEMS慣性器件與系統在自動駕駛市場的全覆蓋，加快MEMS傳感器產業化的全速發展，成功入圍第四批國家級“專精特新”小巨人企業，并連續多年問鼎中國半導體MEMS十強企業。

攀登產品科研生產高峰，只有起點，沒有終點。

“從茫茫太空到浩瀚海洋，再到各種復雜的工程系統，幾乎每個現代化項目，都離不開MEMS傳感器，這也給我們更好履行肩負的加快推動MEMS產業發展使命，賦予了強大動力。”在新的機遇與背景下，美泰科技將持續聚焦核心競爭力，借助感知力量，打造極致產品，持續提高自動化、智能化和可靠性水平，不斷推動中國MEMS技術高質量發展。

通訊員/劉穩 記者/王雪姣 校對/楊曉艾