7月4日，浦東科創集團投資企業睿勵科學儀器(上海)有限公司（以下簡稱“ 睿勵科學儀器”）宣布完成了一輪增資，直接融入現金超過1.6億元，該輪增資由部分原有股東全部認購。本輪所融資金將主要用于光學膜厚量測設備和缺陷檢測設備的產品迭代研發及新產品研發和生產投入。

睿勵科學儀器創建于2005年，總部設立在張江，研發和銷售團隊分布于北京、上海、西安、武漢等地。公司從事集成電路生產制造工藝檢測設備的開發和研制。公司膜厚測量、缺陷檢測及光學關鍵尺寸測量等設備已為國內近20家前道半導體晶圓制造客戶所采用，在不同的生產工藝產線上通過了大規模量產驗證（累計數以億計的晶圓跑片數），無論是設備穩定性還是快速響應解決問題的能力都得到了客戶認可，在幫助產線提高生產效率，提升良率，降低設備擁有成本等方面成果顯著。近兩年推出的12吋膜厚量測設備TFX4000系列和應用于明暗場的12吋高精度光學缺陷檢測設備WSD系列在相繼交付國內重要客戶后，快速通過驗證并接連獲得客戶好評，已取得多臺重復銷售訂單。

睿勵科學儀器在設立之初就得到了浦東科創集團的支持。浦東科創不僅多次投資睿勵，在睿勵發展中，依托自身的產業生態持續的幫助企業引入關鍵人才、梳理發展戰略、獲得融資、開拓市場、獲得訂單，特別是2021年3月，由浦東科創集團牽線，睿勵科學儀器引入中微新一輪1億元戰略投資。自此，公司的客戶渠道有了保障，產品銷量有了提升，管理技能進一步提高，發展進入了快車道。

睿勵科學儀器相關負責人表示，在本輪融資完成后，睿勵科學儀器將繼續深耕集成電路芯片生產工藝檢測設備市場，進一步豐富光學量測和光學缺陷檢測產品系列，在加速光學膜厚量測設備、OCD量測設備、光學缺陷檢測設備等產品迭代更新的同時，將逐步開啟其他光學類檢測設備的開發和應用拓展，力爭盡早達到國際廠商同類設備應用能力全覆蓋，為早日實現集成電路前道工藝檢測設備國產化全面替代的目標而努力奮斗。