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安徽蚌埠打造智能傳感器產業集群,實現高端MEMS芯片國產替代

安徽北方微電子研究院集團有限公司工作人員在調試設備。 劉紫薇攝


近日,在第五屆國際新材料產業大會上,安徽蚌埠市委常委、常務副市長葛瑞向眾多投資者與企業家推介了本地硅基、先進金屬、無機非金屬等前沿新材料產業,傳遞出蚌埠聚力打造新材料產業新高地的堅定決心。

作為一座老工業城市,蚌埠敏銳捕捉到產業變革的脈搏,積極推動新材料與智能制造深度融合。在此過程中,傳感器逐漸成為驅動蚌埠工業煥新的關鍵引擎。


發揮基礎優勢

走進安徽蚌埠的“中國傳感谷”展廳,一個由智能感知技術編織的萬物互聯新世界在記者眼前徐徐展開。腳步所至,燈光依次點亮,空調自動調節至舒適溫度,電子屏幕實時顯示出環境溫濕度與空氣質量數據。一旁的展臺上,小巧的傳感裝置能通過步態分析為腦梗與中風的風險評估提供參考;而看似普通的鏡子,也因搭載了觸摸、視覺、紅外等多種傳感器,能夠迅速采集面部數據,化身為專業的“美妝顧問”。

“層出不窮的新產品和新技術,背后是蚌埠傳感器產業數十年的積累與沉淀。”蚌埠經開區黨工委委員、管委會副主任董思敏介紹,早在1979年,第五機械工業部第二〇七研究所光電集成器件研究分所(以下簡稱“研究所”)正式在蚌埠命名成立。作為微電子領域的先行者,研究所在20世紀90年代便涉足微納制造領域,成為國內最早探索這一前沿方向的單位之一。這一先發優勢,為蚌埠傳感器產業起步發展奠定了關鍵基礎。

“到20世紀末,蚌埠便已是國內重要的傳感器制造基地。”董思敏表示,地處淮河之濱的蚌埠不僅是華東重要的綜合交通樞紐,更具有科研基礎與產業實力。這里集聚了包括中國玻璃工業設計研究院在內的7所國家級研究院所,擁有安徽財經大學等6所高校,以及一批中職院校和地方科研機構。這座老工業城市在機械制造方面具有扎實根基,為傳感器產業快速發展提供了豐厚土壤。

“隨著新一輪科技革命和產業變革到來,蚌埠傳感器產業發展遭遇了瓶頸。”董思敏坦言,蚌埠傳感器企業不少,但布局分散,產品多集中于中低端領域,難以適應智能化、高端化的市場需求,亟需轉型升級。

2022年,脫胎于研究所的安徽北方微電子研究院集團有限公司正式成立。該公司科技產業部部長助理胡志揚介紹,公司建成智能傳感器研制生產工藝線,具有設計、制造、封裝、篩選測試及應用的全產業鏈研制生產能力,通過龍頭企業引領、協同攻關,有效推動產業鏈整體升級,構建適宜傳感器產業發展的創新生態體系。

集中資源發展傳感器產業,蚌埠正式與安徽北方微電子研究院集團有限公司達成合作,按照“一谷三園多址”產業集群總體布局,著力打造國內一流、國際知名的智能傳感器產業集聚區。

“所謂‘一谷’即‘中國傳感谷’,依托安徽北方微電子研究院集團有限公司、希磁科技等鏈主企業,集聚資源發展智能傳感器產業。”董思敏表示,“三園”即MEMS(微機電系統)核心器件產業園、科技孵化園、中央創新園,結合企業在不同發展階段的特征,構建梯次政策體系,實現精準招商與企業培育。此外,針對布局較為零散的傳統傳感器產業,則通過“多址”方式進行有序承接和過渡緩沖。


依托核心招商

在安徽華鑫微納集成電路有限公司(以下簡稱“華鑫微納”)的潔凈車間里,透過寬大的觀察窗,記者看到數臺專用天車沿著空中軌道平穩滑行,穿梭往返中,閃爍著金屬光澤的晶圓被精準交付至指定工序。

據介紹,這條產線投資超50億元,不僅是全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線,也是國內首條設備配套完整的壓電MEMS量產線、全國第一條8英寸腦機接口柔性電極線。“目前產線處于量產爬坡期,今年年底將達到每月產能1萬片。待產線全部投產后,每月產能預計可達3萬片。”華鑫微納研發經理廖啟超表示,作為主要從事MEMS晶圓制造的高新技術企業,公司致力于在工業級高端MEMS芯片上實現國產替代,“我們立志成為國內領先的開放式、定制化MEMS代工平臺,向全國乃至全球智能傳感器企業供貨”。

廖啟超表示,除華鑫微納的8英寸生產線外,安徽北方微電子研究院集團有限公司擁有一條月產5000片的6英寸MEMS晶圓生產線,可為客戶提供低成本的中試與小批量試產服務,6英寸研制線、8英寸量產線互為補充,將有效助力智能傳感器產業鏈生態的構建與完善。

為實現傳感器產業快速轉型升級,蚌埠依托工業大市優勢,緊抓制造環節,不斷推動關鍵生產線落地。“蚌埠目前已擁有集成電路和MEMS晶圓生產線,這在全國都不多見,這種稀缺的產業資源,成為蚌埠招引企業的重要支撐。”蚌埠經開區經貿發展局副局長王健表示。

同時,蚌埠錨定智能傳感器發展特性,基于產線基礎著力打造開放的公共服務平臺,持續促進產業集聚。

“與以往的傳感器不同,智能傳感器一般具有集成化、小型化等特點。在制造環節上,一款智能傳感器用于技術驗證的中試產線投資往往高達數億元甚至數十億元,遠超大多數企業的承受能力,這成為傳感器發展的重要掣肘。”王健認為,要解決“研而不產”“產而無研”的斷層問題,需要為企業搭建研發與產業化的關鍵橋梁,從根本上降低制造成本。

蚌埠市與安徽北方微電子研究院集團有限公司合作,通過政府引導扶持、企業投資運營的方式,建設力傳感器工藝線、溫濕聲類傳感器工藝線、高溫共燒陶瓷工藝線及傳感器檢驗試驗平臺等9個公共技術服務平臺,為設計企業和初創企業提供流片、工藝孵化服務。

“這9個公共技術服務平臺囊括MEMS智能傳感器產業發展的各個關鍵環節,為入駐園區的創業型企業和中小企業補齊上下游產業鏈短板。”王健表示,科研團隊可依托中試產線,快速完成原創技術工程化驗證與試產,順利落戶傳感谷。這一優勢正吸引越來越多的傳感器上下游企業聚集,進一步增強產業生態向心力。

數據顯示,蚌埠已吸引200多家智能傳感器上下游企業落戶發展,其中40多家專精特新企業初步形成從材料、設計、制造、封裝、測試到應用的完整產業鏈生態。


健全培育體系

在第五屆國際新材料產業大會展區內,智能傳感是五大核心展覽板塊之一,集中亮相的一系列高性能慣性傳感器與壓力傳感器,以其精密的結構與前沿的技術,引得不少參會嘉賓駐足。

“隨著新興產業快速發展,智能傳感器產業迎來前所未有的發展機遇。”蚌埠經開區科技經濟信息化局副局長程詩浩說,在機器人領域,柔性觸覺傳感器是實現精準抓握的關鍵;在智能網聯汽車領域,高性能慣性傳感器支撐著流暢的人機交互……越來越多的傳感器滲透到未來科技的眾多場景。今年9月份,中國傳感谷獲評安徽省通用人工智能產業創新園區。面對人工智能發展時代機遇,智能傳感器將有效發揮精準感知、實時采集和邊緣處理作用,為人工智能產業發展提供“硬支撐”。

對蚌埠而言,挑戰也隨之而來。依托“一個科研院所帶動一個產業”發展模式,蚌埠走出一條契合自身資源稟賦的務實路徑。但面對更加智能化的未來,技術迭代加速、競爭格局重構,現有研發體系能否支撐產業持續跟上時代浪潮?

今年5月份,由安徽北方華鑫智感科技有限公司(以下簡稱“華鑫智感”)打造的中國傳感谷智能傳感器中試平臺被工信部評為首批重點培育中試平臺。“聚焦突破高性能傳感器‘卡脖子’技術,我們構建‘基礎研究—工程化—產業化’創新鏈條,實現覆蓋力、熱、聲、光、濕、氣、磁等十二大類傳感器全工藝流程。”該公司副總經理魏剛劍表示,公司致力于打造從核心敏感元件研發到智能整機制造的全產業鏈創新體系。

據了解,華鑫智感在MEMS諧振壓力傳感器等高端產品上已實現多項技術突破,精度高達0.01%。溫度傳感器可覆蓋負200攝氏度至正1600攝氏度超寬溫區。

“唯有堅持科技先行引領,推動科技創新與產業創新深度融合,才能使蚌埠智能傳感器產業永葆活力。”董思敏說,蚌埠經開區重點打造一批企業研發中心、技術中心和新型研發機構,借助各類平臺,有效打通產學研用各環節。同時,培育一批優質科技型企業,著力打造“多點開花”發展格局,為營造充滿活力的創新生態奠定基礎,從而推動產業鏈實現整體躍升。

蚌埠市針對不同發展階段的企業實施分層精準扶持,建立系統而細致的企業培育機制。對初創企業而言,著力打通資源渠道,通過對接科研院所、創投資本和市場平臺,助其“創無憂、資不愁、路不堵”;對專精特新“小巨人”企業而言,側重優化產業生態,推動延鏈補鏈強鏈,助力其向領軍企業躍升。同時,以耐心資本為支撐,設立多只產業基金,以投帶引、投早投小,化解企業研發與成長中的資金難題,以全程“陪伴式”服務,營造讓企業放心投資、安心發展的優良環境。

“人才是科技創新基礎支撐。”董思敏表示,蚌埠還著力加強人才引育,推行“按薪定才”、賦予企業自主認定權,并選派高校“科技副總”入企,促進產學研融合。

“蚌埠的人才政策很實在。”華鑫微納技術研發部高級經理蒲義深有感觸。2024年5月,因企業合作契機,他從上海來到蚌埠工作。當地政府根據他的崗位和薪資水平,將其認定為D類高層次人才,并在次年全面落實相關待遇。

數據顯示,2025年1月至10月,蚌埠智能傳感產業85家規上工業企業產值達80.86億元、同比增長24.6%。蚌埠正繼續書寫屬于自己的“傳感器答卷”。(經濟日報記者 梁 睿 李思隱)

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