近日，中國(guó)科學(xué)院微電子研究所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心在面向5納米以下技術(shù)代的新型硅基環(huán)柵納米線（Gate-all-around silicon nanowire，GAA SiNW）MOS器件的結(jié)構(gòu)和制造方法研究中取得新進(jìn)展。據(jù)悉，該項(xiàng)研究得到國(guó)家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)和國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃等項(xiàng)目的資助。

圖1. 集成電路核心MOS器件結(jié)構(gòu)發(fā)展趨勢(shì)

圖2. 研制的全隔離硅基環(huán)柵納米線MOSFET結(jié)構(gòu)與電學(xué)特性

5納米以下集成電路技術(shù)中現(xiàn)有的FinFET器件結(jié)構(gòu)面臨諸多挑戰(zhàn)。環(huán)柵納米線器件由于具有更好的溝道靜電完整性、漏電流控制和載流子一維彈道輸運(yùn)等優(yōu)勢(shì)，被認(rèn)為是未來(lái)可能取代FinFET的關(guān)鍵架構(gòu)之一。近年來(lái)，將理想環(huán)柵納米線結(jié)構(gòu)和主流FinFET工藝結(jié)合發(fā)展下一代集成技術(shù)已成為集成電路深入發(fā)展的研發(fā)關(guān)鍵熱點(diǎn)之一。如圖1所示，目前國(guó)際報(bào)道的基于主流高k金屬柵FinFET制造工藝形成堆疊納米線器件的研發(fā)有兩種不同方案：堆疊納米線（SNW，IMEC）和堆疊納米片（Nanosheet，IBM）技術(shù)。上述方案都需要在普通硅襯底上外延生長(zhǎng)高質(zhì)量的多層GeSi/Si結(jié)構(gòu)，并在高k金屬柵取代柵工藝中選擇腐蝕GeSi或Si，最終在溝道中選擇形成堆疊納米線而在源漏中保持Fin結(jié)構(gòu)。該技術(shù)在集成電路大規(guī)模制造中存在許多潛在的挑戰(zhàn): 須生長(zhǎng)高質(zhì)量、接近體硅質(zhì)量無(wú)缺陷的多層GeSi/Si外延層；由于Ge元素在最前道集成步驟中引入，給后繼工藝帶來(lái)較低的工藝溫度窗口限制以及較多的Ge原子沾污機(jī)會(huì)。

針對(duì)上述納米線晶體管架構(gòu)在集成電路發(fā)展應(yīng)用中所面臨的難題，微電子所研究員殷華湘帶領(lǐng)的團(tuán)隊(duì)提出在主流硅基FinFET集成工藝基礎(chǔ)上，通過(guò)高級(jí)刻蝕技術(shù)形成體硅絕緣硅Fin和高k金屬柵取代柵工藝中選擇腐蝕SiO2相結(jié)合，最終形成全隔離硅基環(huán)柵納米線MOS器件的新方法。并在取代柵中絕緣硅Fin釋放之后，采用氧化和氫氣退火兩種工藝分別將隔離的“多邊形硅Fin”轉(zhuǎn)化成“倒水滴形”和“圓形”兩種納米線結(jié)構(gòu)。由于在該方法中，納米線溝道由單晶硅襯底制作形成，導(dǎo)電溝道中材料晶格缺陷更少、界面質(zhì)量更高。兩種高k金屬環(huán)柵納米線晶體管都表現(xiàn)出很好的器件特性，其中通過(guò)氧化制備的“倒水滴形”環(huán)柵納米線晶體管在16nm物理柵長(zhǎng)（對(duì)應(yīng)5nm及以下技術(shù)代）下，獲得器件亞閾值特性SS = 61.86 mV/dec 和DIBL = 6.5 mV/V，電流開(kāi)關(guān)比大于1E8。SS和DIBL十分接近MOSFET的理論極限數(shù)值（60mV/dec和0 mV/V），遠(yuǎn)超以往同類工藝制造的FinFET性能參數(shù)，也達(dá)到目前同類器件所報(bào)道的最高水平。同時(shí)，該類器件結(jié)構(gòu)也可以通過(guò)同樣的方法在多步刻蝕和取代柵工藝中制作成多層堆疊納米線，該項(xiàng)研究工作正在進(jìn)行中。這種不同于現(xiàn)有國(guó)際報(bào)道的制造方法具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，可為未來(lái)我國(guó)集成電路下一代關(guān)鍵技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展提供核心器件架構(gòu)和制造工藝開(kāi)發(fā)的多樣選擇。該工作以《通過(guò)一種先進(jìn)工藝形成具有優(yōu)異短溝道控制能力的新型p型環(huán)柵納米線場(chǎng)效應(yīng)晶體管》為題發(fā)表在國(guó)際微電子器件期刊《IEEE電子器件快報(bào)》上（IEEE Electron Device Letters，DOI: 10.1109/LED.2018.2807389），并被選為該期期刊首篇論文。