羅德與施瓦茨（以下簡(jiǎn)稱“R&S”公司）為在片器件的完整射頻性能表征提供測(cè)試解決方案，該方案結(jié)合了R&S強(qiáng)大的ZNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀和FormFactor先進(jìn)的工程探針臺(tái)系統(tǒng)。半導(dǎo)體制造商可以在產(chǎn)品的開發(fā)、認(rèn)證和生產(chǎn)階段執(zhí)行可靠且可重復(fù)的在片器件特性測(cè)試。整個(gè)在片測(cè)量工作由ZNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀與FormFactor SUMMIT200探針臺(tái)系統(tǒng)一起完成。

5G 射頻前端設(shè)計(jì)師需要確保適當(dāng)?shù)钠骷敵龉β屎蜕漕l帶寬，同時(shí)兼顧優(yōu)化器件效率。設(shè)計(jì)流程中的一個(gè)重要階段是驗(yàn)證射頻設(shè)計(jì)，盡早獲得相關(guān)設(shè)計(jì)反饋并評(píng)估DUT在晶圓級(jí)的功能和性能。在晶圓環(huán)境對(duì) DUT特性進(jìn)行測(cè)試所需的測(cè)量系統(tǒng)包括矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀(VNA)、探針臺(tái)、RF探針、電纜或適配器、專用校準(zhǔn)方法以及用于特定DUT或相關(guān)的校準(zhǔn)片等。

為了滿足這些重要的測(cè)量要求，R&S推出ZNA高端矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，以及頻率在67 GHz以上的擴(kuò)頻模塊。分析儀可表征同軸和波導(dǎo)級(jí)的所有射頻特性參數(shù)。FormFactor通過手動(dòng)、半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)解決晶圓接觸問題，系統(tǒng)包括熱控制、高頻探針、探針定位器和校準(zhǔn)工具等。FormFactor WinCal XE校準(zhǔn)軟件支持整個(gè)測(cè)試系統(tǒng)的校準(zhǔn)，包括對(duì)ZNA的校準(zhǔn)。

對(duì)整套測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行完全校準(zhǔn)后，用戶可以使用ZNA的所有測(cè)試功能。通用S參數(shù)測(cè)試可以表征濾波器和有源器件的特性；失真、增益和交調(diào)測(cè)試可以驗(yàn)證功率放大器的特性。該套聯(lián)合測(cè)試系統(tǒng)還可對(duì)混頻器工作帶寬內(nèi)的變頻相位進(jìn)行測(cè)量。經(jīng)過完全校準(zhǔn)的測(cè)試系統(tǒng)允許用戶直接從VNA獲得所有測(cè)試結(jié)果，無需進(jìn)行后處理，因?yàn)樾?zhǔn)數(shù)據(jù)已經(jīng)直接應(yīng)用于VNA之中。

R&S的擴(kuò)頻模塊擴(kuò)展至亞太赫茲頻率，例如D波段，它是目前6G研究的重點(diǎn)頻段。擴(kuò)頻模塊集成到探針臺(tái)中，以確保最短的連接并實(shí)現(xiàn)理想的動(dòng)態(tài)范圍，同時(shí)避免因電纜連接到探針尖部而造成的額外損耗。