中電科思儀科技股份有限公司的6433系列光波元件分析儀不僅能實現對光器件（電光器件、光電器件、光光器件）的S參數測試，也可實現對5G光芯片（PD芯片、LD芯片）的S參數測試。

（一）光芯片測試面臨的問題

傳統的測試方法通過校準片對探針進行校準，該方法雖然校準精度高，但是需要使用開路、短路、負載多個校準片，且需要用戶自己創建校準標準，校準過程復雜，不利于用戶對儀器的使用。

（二）測試問題解決的思路

6433x系列光波元件分析儀以公司3672x系列矢量網絡分析儀為平臺，通過基于自動夾具移除軟件選件可實現光芯片（直接調制激光器、電吸收調制器、光電探測器）快速地測試，有效地解決光芯片S參數測試前鏈路校準的難題。測試時，將高頻探針等效為夾具，通過自動夾具移除測量高頻探針的時域參數，利用信號流圖提取頻域參數，形成s2p文件，進而通過射頻去嵌入，實現光芯片的高精度S參數測試。

（三）解決問題的具體方法

以PD芯片為例，基于自動夾具移除的光芯片測試的測試連接如示意圖所示，輸出的光信號通過光纖跳線連接到被測芯片的輸入端，被測芯片輸出的電信號通過射頻電纜連接到儀器的射頻端口2。在測試時，首先通過自動夾具移除功能得到高頻探針的s2p文件，其次通過射頻去嵌入消除探針帶來的測量誤差，以獲得被測芯片的真實S參數。

（四）測試的案例效果

利用自動夾具移除功能，光波元件分析儀能夠準確測量得到高頻探針的參數信息，在進行電光芯片或光電芯片測試時，消除探針帶來的測量誤差，進而高精度地表征芯片的S參數，如下圖所示（基于6433光波元件分析儀實現）成功完成了光芯片在片測試。

基于自動夾具移除的光芯片在片測試方案