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MEMS熱電堆——讓深硅刻蝕成為行業(yè)新寵

深硅刻蝕技術在工業(yè)界應用廣泛，包括集成電路制造、微機電系統(tǒng)（MEMS）制造和微納光子學的研究等領域，其經(jīng)歷了由濕法刻蝕到干法

2020-04-29

6項微機電系統(tǒng)（MEMS）技術國家標準獲批發(fā)布助力行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展

2024年9月29日，市場監(jiān)管總局（國家標準委）發(fā)布2024年第22號國家標準公告，批準發(fā)布《微機電系統(tǒng)（MEMS）技術傳感器用MEMS壓電薄膜的環(huán)境試驗方法》（GB/T 44513-2024）等六項微機電系統(tǒng)（MEMS）技術國家標準，計劃于2025年4月前陸續(xù)實施。這六項國家標準由全國微機電技術標準化技術委員會（SAC/TC336）歸口，明確了MEMS

2024-10-17

昆博研究院牽頭起草MEMS硅壓阻溫壓復合壓力傳感器芯片國家標準

日前，全國標準信息公共服務平臺公開發(fā)布信息，由昆山昆博智能感知產(chǎn)業(yè)技術研究院有限公司（簡稱：昆博研究院）牽頭起草的《微機電系統(tǒng)（MEMS）技術 MEMS硅壓阻溫壓復合壓力傳感器芯片》獲批立項，正式進入起草階段，這是該研究院第二次牽頭制定國家標準。圖片近年來，昆山昆博智能感知產(chǎn)業(yè)技術研究院有限公司憑借其專業(yè)的

2024-08-11

欣“芯”向榮！安徽出臺14條舉措打造智能傳感產(chǎn)業(yè)集群

5月25日，在第六屆中國（蚌埠）MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會上，安徽省人工智能產(chǎn)業(yè)推進組發(fā)布《關于支持中國傳感谷發(fā)展若干政策》，通過支持加大投入、創(chuàng)新發(fā)展、人才引育等五個方面的14條舉措，支撐安徽省蚌埠市立足中國傳感谷打造皖北地區(qū)高質(zhì)量發(fā)展增長極和智能傳感產(chǎn)業(yè)集群新高地。圖片政策中提出，在支持加大投入方面

2024-05-27

為狀態(tài)監(jiān)控選擇MEMS加速度計時，這些經(jīng)常被忽視的參數(shù)

MEMS加速度計對于檢測故障情況、幫助防止意外斷電或避免發(fā)生其他代價高昂的事件至關重要，但我們在選擇和安裝合適的MEMS傳感器之前，需要仔細考慮多個關鍵參數(shù)，然而這些參數(shù)常常被忽視。本文將討論您在做出選擇時應特別留意的一些關鍵標準。狀態(tài)監(jiān)控 CbM是利用傳感器監(jiān)測機械系統(tǒng)可能出現(xiàn)的潛在缺陷或損壞的過程。CbM用于

2023-08-12

一起了解Mems加速度傳感器特點

微機電系統(tǒng)，Micro-Electro-Mechanical-SySTems，簡稱MEMS，基于MEMS技術的加速度傳感器已有30多年的發(fā)展歷史，但因為存在技術和成本等客觀發(fā)展因素的限制，未能像電子消費產(chǎn)品一樣進入市場。目前，由于MEMS加速度傳感器技術的進步，如今低功耗、高性能的MEMS加速度傳感器已經(jīng)改變了市場新的傳感器市場發(fā)展趨勢。mems加速度

2020-12-14

電子工程師最關注什么？調(diào)查顯示五大傳感器技術趨勢

近日，專注傳感器行業(yè)的國外網(wǎng)站FierceElectronics對2020年電子工程師感興趣的主題進行了調(diào)查，調(diào)查顯示，按照排名順序，電子工程師最關注的主題領域是：微機電系統(tǒng)、物聯(lián)網(wǎng)和連接設備、自動駕駛汽車、低功耗和電源管理、系統(tǒng)設計。是什么趨勢促使人們對這些主題產(chǎn)生興趣？一、MEMS 自從將MEMS用于檢測鋼中應變的第一個商業(yè)

2020-06-24

帶你了解MEMS陀螺儀的工作原理

陀螺儀是用來測量角速率的儀器，在加速度功能基礎上，可以進一步發(fā)展，構(gòu)建陀螺儀。陀螺儀的內(nèi)部原理是這樣的：對固定指施加電壓，并交替改變電壓，讓一個質(zhì)量塊做振蕩式來回運動，當旋轉(zhuǎn)時，會產(chǎn)生科里奧利加速度，此時就可以對其進行測量；這有點類似于加速度計，解碼方法大致相同，都會用到放大器。角速率由科氏加速度測

2020-05-13

應用于MEMS產(chǎn)品的精密電子零部件及制造技術

一、精密電子零部件概述微機電系統(tǒng)（MEMS）是指尺寸在毫米級甚至微米級的微型電子裝置，主要可分為微型傳感器和微型執(zhí)行器兩個大類。由于MEMS的尺寸較小，用于生產(chǎn)MEMS產(chǎn)品的零部件通常也相對較小，一般僅為幾毫米，因此MEMS產(chǎn)品對精密零部件的加工精密度要求非常高。根據(jù)功能和作用的不同，應用于MEMS產(chǎn)品的常見精密電子

2020-04-01

中國傳感器發(fā)展的外患內(nèi)憂及政策解讀

數(shù)字化技術驅(qū)動產(chǎn)業(yè)升級，產(chǎn)品逐步進入智能階段。繼互聯(lián)網(wǎng)之后，與國民經(jīng)濟息息相關的物聯(lián)網(wǎng)也被推到了風口浪尖，根據(jù)此前全球物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展數(shù)據(jù)來看，2018年全球物聯(lián)網(wǎng)市場規(guī)模突破千億美元。不可否認，未來，國內(nèi)外物聯(lián)網(wǎng)的市場前景十分廣闊，但是就目前國內(nèi)物聯(lián)網(wǎng)而言，從感知、傳輸、計算以及應用層面上依然存在亟待解決。

2019-12-10

掌握MEMS工藝變量利用vHF氣相蝕刻SiO?

由于微機電系統(tǒng)（MEMS）產(chǎn)品的三維（3D）結(jié)構(gòu)及其與生俱來的機械特性，制造MEMS器件面臨著獨特的挑戰(zhàn)。此類產(chǎn)品需要特定的微機械結(jié)構(gòu)，以便實現(xiàn)包括振動、旋轉(zhuǎn)或其他動作類型的MEMS功能（圖1）。為此，MEMS制造工藝流程要求在傳統(tǒng)的半導體器件制造工藝流程中增加一個維度（高度），因為傳統(tǒng)的工藝僅用于制造平面型電子器件

2019-11-14

工信部：《智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動指南》獲批

據(jù)消息，工信部電子信息司副司長彭紅兵日前透露，《智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動指南（2017-2019）》已獲部長辦公會正式審議通過。該行動指南明確產(chǎn)業(yè)發(fā)展目標和方向就是傳感器的智能化，并制定了產(chǎn)業(yè)發(fā)展路線圖，確定了MEMS（微機電系統(tǒng)）工藝和集成電路工藝相結(jié)合的產(chǎn)業(yè)發(fā)展路徑，以及以市場應用為主導的政策扶持原則。

2017-05-09