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MEMS熱電堆——讓深硅刻蝕成為行業新寵

深硅刻蝕技術在工業界應用廣泛，包括集成電路制造、微機電系統（MEMS）制造和微納光子學的研究等領域，其經歷了由濕法刻蝕到干法

2020-04-29

6項微機電系統（MEMS）技術國家標準獲批發布助力行業高質量發展

2024年9月29日，市場監管總局（國家標準委）發布2024年第22號國家標準公告，批準發布《微機電系統（MEMS）技術傳感器用MEMS壓電薄膜的環境試驗方法》（GB/T 44513-2024）等六項微機電系統（MEMS）技術國家標準，計劃于2025年4月前陸續實施。這六項國家標準由全國微機電技術標準化技術委員會（SAC/TC336）歸口，明確了MEMS

2024-10-17

昆博研究院牽頭起草MEMS硅壓阻溫壓復合壓力傳感器芯片國家標準

日前，全國標準信息公共服務平臺公開發布信息，由昆山昆博智能感知產業技術研究院有限公司（簡稱：昆博研究院）牽頭起草的《微機電系統（MEMS）技術 MEMS硅壓阻溫壓復合壓力傳感器芯片》獲批立項，正式進入起草階段，這是該研究院第二次牽頭制定國家標準。圖片近年來，昆山昆博智能感知產業技術研究院有限公司憑借其專業的

2024-08-11

欣“芯”向榮！安徽出臺14條舉措打造智能傳感產業集群

5月25日，在第六屆中國（蚌埠）MEMS智能傳感器產業發展大會上，安徽省人工智能產業推進組發布《關于支持中國傳感谷發展若干政策》，通過支持加大投入、創新發展、人才引育等五個方面的14條舉措，支撐安徽省蚌埠市立足中國傳感谷打造皖北地區高質量發展增長極和智能傳感產業集群新高地。圖片政策中提出，在支持加大投入方面

2024-05-27

為狀態監控選擇MEMS加速度計時，這些經常被忽視的參數

MEMS加速度計對于檢測故障情況、幫助防止意外斷電或避免發生其他代價高昂的事件至關重要，但我們在選擇和安裝合適的MEMS傳感器之前，需要仔細考慮多個關鍵參數，然而這些參數常常被忽視。本文將討論您在做出選擇時應特別留意的一些關鍵標準。狀態監控 CbM是利用傳感器監測機械系統可能出現的潛在缺陷或損壞的過程。CbM用于

2023-08-12

一起了解Mems加速度傳感器特點

微機電系統，Micro-Electro-Mechanical-SySTems，簡稱MEMS，基于MEMS技術的加速度傳感器已有30多年的發展歷史，但因為存在技術和成本等客觀發展因素的限制，未能像電子消費產品一樣進入市場。目前，由于MEMS加速度傳感器技術的進步，如今低功耗、高性能的MEMS加速度傳感器已經改變了市場新的傳感器市場發展趨勢。mems加速度

2020-12-14

電子工程師最關注什么？調查顯示五大傳感器技術趨勢

近日，專注傳感器行業的國外網站FierceElectronics對2020年電子工程師感興趣的主題進行了調查，調查顯示，按照排名順序，電子工程師最關注的主題領域是：微機電系統、物聯網和連接設備、自動駕駛汽車、低功耗和電源管理、系統設計。是什么趨勢促使人們對這些主題產生興趣？一、MEMS 自從將MEMS用于檢測鋼中應變的第一個商業

2020-06-24

帶你了解MEMS陀螺儀的工作原理

陀螺儀是用來測量角速率的儀器，在加速度功能基礎上，可以進一步發展，構建陀螺儀。陀螺儀的內部原理是這樣的：對固定指施加電壓，并交替改變電壓，讓一個質量塊做振蕩式來回運動，當旋轉時，會產生科里奧利加速度，此時就可以對其進行測量；這有點類似于加速度計，解碼方法大致相同，都會用到放大器。角速率由科氏加速度測

2020-05-13

應用于MEMS產品的精密電子零部件及制造技術

一、精密電子零部件概述微機電系統（MEMS）是指尺寸在毫米級甚至微米級的微型電子裝置，主要可分為微型傳感器和微型執行器兩個大類。由于MEMS的尺寸較小，用于生產MEMS產品的零部件通常也相對較小，一般僅為幾毫米，因此MEMS產品對精密零部件的加工精密度要求非常高。根據功能和作用的不同，應用于MEMS產品的常見精密電子

2020-04-01

中國傳感器發展的外患內憂及政策解讀

數字化技術驅動產業升級，產品逐步進入智能階段。繼互聯網之后，與國民經濟息息相關的物聯網也被推到了風口浪尖，根據此前全球物聯網發展數據來看，2018年全球物聯網市場規模突破千億美元。不可否認，未來，國內外物聯網的市場前景十分廣闊，但是就目前國內物聯網而言，從感知、傳輸、計算以及應用層面上依然存在亟待解決。

2019-12-10

掌握MEMS工藝變量利用vHF氣相蝕刻SiO?

由于微機電系統（MEMS）產品的三維（3D）結構及其與生俱來的機械特性，制造MEMS器件面臨著獨特的挑戰。此類產品需要特定的微機械結構，以便實現包括振動、旋轉或其他動作類型的MEMS功能（圖1）。為此，MEMS制造工藝流程要求在傳統的半導體器件制造工藝流程中增加一個維度（高度），因為傳統的工藝僅用于制造平面型電子器件

2019-11-14

工信部：《智能傳感器產業三年行動指南》獲批

據消息，工信部電子信息司副司長彭紅兵日前透露，《智能傳感器產業三年行動指南（2017-2019）》已獲部長辦公會正式審議通過。該行動指南明確產業發展目標和方向就是傳感器的智能化，并制定了產業發展路線圖，確定了MEMS（微機電系統）工藝和集成電路工藝相結合的產業發展路徑，以及以市場應用為主導的政策扶持原則。

2017-05-09