一、量測設備主要類型

工藝過程量測設備是指在晶圓制造過程檢測某一工藝完成質量的設備，因此，由于存在多種測量指標，量測設備種類較多。舉例可包括膜厚檢測、方塊電阻檢測、膜應力檢測、折射率檢測、摻雜濃度檢測、關鍵尺寸檢測、無/有圖形表面缺陷檢測等等。

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二、半導體前道量測設備行業市場現狀分析

據統計，2020年全球半導體設備市場規模為711億美元，若半導體前道測試設備占比為12%，則2020年全球半導體前道檢測設備市場規模為85.3億元，預計2023年全球半導體前道檢測設備市場規模將達到121.6億元。

國內市場方面，據統計，2020年中國大陸半導體設備市場規模為187.2億美元，同比增長39.2%，中國大陸半導體前道檢測設備市場規模為22.5億美元。

三、半導體前道檢測設備行業格局

據統計，前道檢測設備領域，科磊獨占52%的份額，應用材料、日立高新則分別占比12%、11%，CR3合計占比接近80%，市場集中度較高，且基本被海外公司所壟斷，國內企業市場份額不足1%。

前道量測設備進一步細分為量測設備、缺陷檢測設備以及過程控制軟件，據統計，其中缺陷檢測設備約占前道檢測設備的55%，量測設備占前道量測設備的34%，過程控制軟件占11%。

進一步按產品細分，膜厚測量占比約12%、OCD測量設備占比10%、形貌測量占比約6%、套刻誤差測量占比9%、CD-SEM測量占比約12%；缺陷檢測中有圖形晶圓檢測占比32%、無圖形晶圓檢測占比5%、電子束檢測占比11%、宏觀缺陷檢測占比6%。

四、國外半導體前道測量設備龍頭企業——KLA

科磊是IC領域最大量檢測公司，半導體工藝控制是最主要收入來源。通過20余年的發展，截止2021財年，KLA的營收已達到69.2億美元，同比增長19.2%，歸母凈利潤為20.78億美元，同比增長70.7%，成為集成電路領域規模最大、覆蓋面最廣的量檢測公司。

科磊在檢測設備領域市占率有絕對優勢，在晶圓形貌檢測、無圖形晶圓檢測、有圖形晶圓檢測領域市占率分別達到85%、78%、72%，具有絕對壟斷優勢。

五、國內半導體前道量測設備重點企業

目前國內三家公司均有產品實現突破，都有產品進入一線產線驗證，但都出貨量不多，未來一旦產品驗證效果好，有較高國產替代空間。三家公司產品涉及領域互有重疊，未來有相互競爭的可能性，新品類的擴充是重要的發展方向。