謝斌平 費勉儀器科技（上海）有限公司首席技術官

坐標：上海寶山

領域：高端儀器

蒜泥白肉、撈汁小海鮮、香煎牛排……談及美食，費勉儀器科技（上海）有限公司首席技術官謝斌平一下子列出了眾多拿手好菜。

“做菜和設備調試有相通性，看起來只是一點點的參數不同，結果可能就會有很大的差異。平時忙著工作，家里人給了很多支持，而做飯不僅可以放松心情，也是對家人的一種彌補和回饋。”這位“搭設備”很厲害的張江示范區杰出創新創業人才稱號獲得者，品味著生活的樂趣，也徜徉在創新的世界。

1、瞄準世界一流”

位于張江高新區寶山園的費勉儀器，是一家致力于為全球學術及研究機構、國家重大項目和高端產業提供精密儀器裝置，和以薄膜外延、低溫技術、深紫外光源、先進等離子等為代表的前沿技術產業化創新型企業。

謝斌平是一位科班出身的“80后”凝聚態物理專業博士，曾獲得國家科技進步二等獎、上海市科技進步一等獎等獎項，作為費勉儀器首席技術官，他主導開發了多項具有國際先進水平的科研設備與系統，特別是射頻聚焦等離子真空紫外光源和無液氦多自由度低溫樣品架為國際首創，不僅打破了國際壟斷，而且各項性能指標名列國際前列。

說起當時為什么會創辦這樣一家公司，謝斌平笑言和兩位復旦大學物理系的同門師兄弟志同道合：“在科研上，其實我們已經在一些領域處在比較前沿的位置了，但是，科研設備就一直沒有很好的國產產品。如果不從源頭上解決這一問題，不管是科研也好，還是創新也好，都會受制于人。創辦費勉儀器，就是希望通過探究基礎物理學原理，實現中國的技術創新，填補這項空白。”

精密儀器作為集材料、物理、生物、化學多個專業與先進技術的高度綜合，既是創新研究的工具，更是創新研究的主體。在國內基礎科學和前沿科技投入和重視程度不斷攀升，而高端精密儀器的需求仍然嚴重依賴進口的背景下，謝斌平帶領技術團隊瞄準世界一流的目標不斷深化技術創新，打破技術壁壘，走進了這個領域的世界前沿。

“在實驗儀器這一塊，特別是在低溫樣品架、真空紫外光源領域，費勉儀器現在基本上已經做到世界最好了。比如，我們的低溫樣品架不僅實現了對老牌全球頂尖科研儀器的部分替代，甚至指標比國外的還好，被國際一流科題組所認可。如今，除了滿足國內高校研究所的需求，我們現在差不多有三分之一的產品出口到國外。”

2、實現場景跨越

從初創的3個人，到如今的300余人；從擠在10平方米左右的小房間，到擁有約20000平方米的獨立辦公生產功能空間；從0到1的跨越，到從1到N的延伸……

如今的費勉儀器不斷加速奔跑，成為上海市高新技術企業、上海市“專精特新”中小企業、上海市專利試點單位、上海市科技小巨人培育企業、國家專精特新“小巨人”企業。

在費勉儀器的生產現場，可以看到，組裝和調試中的一套套實驗設備，一個個真空腔連接著傳遞腔、測量腔等，硬核科技感十足。

與此同時，從第一個產品低溫樣品架開始投入研發，從傳統液氦，到通過電制冷達到液氦溫度……發展到今天，費勉儀器在超高真空、低溫、薄膜制備及等離子四個技術領域，擁有豐富的技術積累和成熟產品線。

“在國內，四項核心技術都保持較高水準，并且可以提供集成方案和系統的公司還不多，這也是費勉儀器的競爭優勢。”

如今，對于“誕生于實驗室”費勉儀器而言，也在探索如何將應用場景從實驗室拓展到工業等領域。這既給謝斌平和技術團隊提出了新的要求，也提供了新的發展空間。

初創時期，費勉儀器的主要業務是為高校實驗室和研究所提供集成了自己核心技術的整套實驗設備和解決方案，這些設備主要用于半導體材料、航空航天有關領域的研究。隨著企業的發展，在立足實驗室設備產品和開發高端儀器的同時，謝斌平和技術團隊也在工業和民生產品方面進行了研發應用的探索，并取得了不俗的成果。

“在工業領域，費勉的MBE系統（分子束外延生長技術, 是半導體等新材料研發制備的關鍵技術）的國產化已經實現了零的突破，從2021年起陸續向國內半導體公司交付多套設備，用于高功率半導體激光巴條生產和半導體材料晶圓薄膜外延，覆蓋傳統GaAs、InP器件，新型硅基氮化鎵器件和氧化鎵等新一代半導體器件。”從四英寸晶圓的MBE系統的供貨，到八英寸的供貨，再到未來逐漸實現全尺寸的供貨，費勉儀器一步步地實現著從實驗室到工業領域的跨越。“目前全尺寸生產型的MBE系統由一家法國公司和一家美國公司掌控，如果費勉的這個目標實現，意味著在研究分子束外延晶圓薄膜技術上我們將有機會突破‘卡脖子’，實現本土化。”

在其他民用領域，謝斌平也在帶領團隊嘗試各種業務拓展。比如，基于費勉儀器的等離子技術拓展出的等離子空氣消殺、等離子水技術，等等。

3、勇攀科技高峰

近者悅、遠者來。如今，昔日老工業基地寶山，正蝶變成為創新創業熱土，也為越來越多像費勉儀器這樣的科創企業在此生根發芽提供著肥沃的土壤。

費勉儀器2017年8月遷入寶山區機器人產業園，這也是費勉儀器的第4次搬家。“伴隨著費勉儀器的成長，我們需要更大的空間。”在謝斌平看來，“此次搬家可說是費勉儀器一個比較大的跨越，我們的人可以更多，我們做的事情也可以更多，距離我們的創新夢想也更近了。在此過程中，確實得到了張江寶山園挺多支持的。”

與謝斌平的感受一樣，在費勉儀器的小伙伴們看來，這里正是理想的高科技制造型企業的創業地，費勉儀器在這里得到了全方位的“呵護”：機器人產業園可以為公司辦理工商、環評等手續提供專業指導，提高企業的辦事效率；寶山區科委、經委、人才中心等部門多次到企業實地調研，了解企業經營中的實際問題，針對企業特點，給予了資金補貼、人才留滬等方面的支持；工會等部門對企業員工進行高溫慰問暖人心；政府提供的公租房也為企業留住人才提供了必要的住房保障；一系列的科創政策使企業可以安心研發生產，進而為建設科創主陣地做出更多的努力。

與此同時，謝斌平覺得，不止寶山，上海這座包容的城市，也無處不在地給予著科技企業充足的個性化發展空間。“我1999年來到上海后，就沒有長時間離開過。我喜歡和習慣這里的環境，有志同道合的小伙伴，有兄弟公司，有客戶，有政策和項目支持，在上海我們能夠安心地專注于做我們自己的事情、專注于科技創新的前沿探索。”

良好的創新環境，也激勵著謝斌平和費勉儀器向更高的科技高峰攀登。下一步，費勉儀器將繼續依托自身研發力量，充分利用自身技術優勢，不斷提升產品性能，開發新產品，進一步實現高新技術在工業領域等的轉化，做行業的領跑者。

“我們一直說科學技術是第一生產力，但是如果不能實現科研儀器的自主創新，就很難做出引領性的工作。正是在此意義上說，高端儀器的自主創新，是我們必須補上的‘功課’。”

“費勉儀器的產品可能普通人不會直接接觸到，但是，在人們生產生活的背后卻很可能是離不開的。”談及上海科創“核爆點”，謝斌平表示，“核爆具有廣度和深度，費勉儀器所在的賽道雖然高端，但也相對冷門。我希望的是，費勉儀器更像是長江或黃河的起源，可能看起來并不顯眼，卻恰恰是澎湃活力的起點和動力之源。”