全球幾乎所有晶圓廠(chǎng)都要求采用SEMI F47《半導(dǎo)體制程設(shè)備電壓暫降抗擾度規(guī)范》。SEMI F47 要求設(shè)備能夠免受交流電網(wǎng)中常見(jiàn)的電壓驟降的影響。

由于制造加工設(shè)備的高敏感性，目前市場(chǎng)上的制造工具對(duì)電力質(zhì)量的要求很高。半導(dǎo)體加工設(shè)備尤其易受電壓驟降的影響，因?yàn)檫@些事件會(huì)導(dǎo)致工藝失敗。因此，這些精密設(shè)備所使用的電力系統(tǒng)的質(zhì)量就顯得更為重要。

SEMI F47 規(guī)范定義了半導(dǎo)體加工和計(jì)量 /測(cè)試設(shè)備所需的最低電壓驟降抗擾度。

當(dāng)前版本的 SEMI F47 規(guī)定了半導(dǎo)體制造過(guò)程中所用設(shè)備的最低電壓驟降抗擾度要求。抗擾度以電壓驟降深度和電壓驟降持續(xù)時(shí)間表示，以便在交流電源欠壓（暫降）不超過(guò)額定線(xiàn)電壓最大50%且持續(xù)時(shí)間最長(zhǎng)1.7秒的停電事件中，設(shè)備能夠繼續(xù)無(wú)縫工作，不被中斷。該標(biāo)準(zhǔn)的詳細(xì)規(guī)定如下：

縱坐標(biāo)軸：設(shè)備標(biāo)稱(chēng)電壓的百分比

橫坐標(biāo)軸：電壓驟降持續(xù)時(shí)間

符合 SEMI F47 標(biāo)準(zhǔn)的電源必須采用專(zhuān)業(yè)優(yōu)質(zhì)的設(shè)計(jì)。 此外，由于晶圓廠(chǎng)的耗電量很大，對(duì)電力質(zhì)量和功率效率的要求越來(lái)越高，因此電源本身也必須高效可靠。

EA Elektro-Automatik 作為高效直流電源供應(yīng)商，可提供符合 SEMI F47 標(biāo)準(zhǔn)要求的電源。EA-10000 系列臺(tái)式和工業(yè)電源憑借碳化硅技術(shù)的出色性能，實(shí)現(xiàn)了高達(dá) 96% 的效率，并能承受規(guī)定的電壓驟降。SEMI F47 是電源的一項(xiàng)內(nèi)置功能，可使半導(dǎo)體制程的工藝更加可靠。

EA-10000 系列和 EA-10000工業(yè)系列采用先進(jìn)的能量緩沖功能，即使交流電壓出現(xiàn)波動(dòng)也能確保穩(wěn)定的直流輸出。EA-10000 系列允許制程設(shè)備設(shè)計(jì)師在兩種運(yùn)行模式之間進(jìn)行選擇。

在SEMI F47兼容模式下，最大輸出功率會(huì)進(jìn)行調(diào)整，以保證電壓驟降時(shí)的可靠性和直流輸出的穩(wěn)定性。

對(duì)于需要全功率且直流輸出波動(dòng)可接受的應(yīng)用，還提供了一種附加模式。該模式支持電網(wǎng)監(jiān)控和低電壓穿越功能，可保持全功率運(yùn)行，適用于可承受短暫直流輸出變化的工藝（比如熱應(yīng)用）。

用戶(hù)可自行決定是否使用這兩項(xiàng)SEMI F47 功能中的一項(xiàng)。 這兩項(xiàng)功能可作為設(shè)備菜單中的可調(diào)參數(shù)進(jìn)行選擇。 對(duì)于EA-10000 系列，可直接在前面板觸摸顯示屏上進(jìn)行此操作。 對(duì)于EA-10000工業(yè)系列，可通過(guò) EAPC 等控制軟件遠(yuǎn)程設(shè)置該功能。

EA-10000 和 EA-10000 工業(yè)系列電源是提高半導(dǎo)體制程設(shè)備和工具工藝品質(zhì)的最佳選擇。