近日，中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)微電子院在MEMS領(lǐng)域取得新成果，推出自主研發(fā)的新產(chǎn)品高精度MEMS智能傳感器產(chǎn)品。
微電子院領(lǐng)航國(guó)內(nèi)MEMS晶圓制造技術(shù)，自主研發(fā)具有高精度、低功耗、小型化特點(diǎn)的系列MEMS智能傳感器，可廣泛應(yīng)用于智能汽車、航空航天、工業(yè)測(cè)控等領(lǐng)域，相關(guān)產(chǎn)品達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。下一步，微電子院將繼續(xù)開展MEMS核心關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，打造原創(chuàng)技術(shù)策源地，推動(dòng)科技成果轉(zhuǎn)化，加快培育新質(zhì)生產(chǎn)力，為微電子行業(yè)繁榮發(fā)展提供有力支撐。
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