【儀商網-儀器儀表招標】復旦大學現就電子束蒸發儀等采購進行國際公開招標，歡迎合格的供應商前來投標。

電子束蒸發法儀

電子束蒸發法是真空蒸發鍍膜的一種，是在真空條件下利用電子束進行直接加熱蒸發材料，使蒸發材料氣化并向基板輸運，在基底上凝結形成薄膜的方法。在電子束加熱裝置中，被加熱的物質放置于水冷的柑渦中，可避免蒸發材料與柑禍壁發生反應影響薄膜的質量，因此，電子束蒸發沉積法可以制備高純薄膜，同時在同一蒸發沉積裝置中可以安置多個增禍，實現同時或分別蒸發，沉積多種不同的物質。通過電子束蒸發，任何材料都可以被蒸發，不同材料需要采用不同類型的增竭以獲得所要達到的蒸發率。

電子束蒸發儀可以蒸發高熔點材料，比一般電阻加熱蒸發熱效率高、 束流密度大、蒸發速度快，制成的薄膜純度高、質 量好，厚度可以較準確地控制，可以廣泛應用于制備高純薄膜和導電玻璃等各種光學材料薄膜。

一、預算及采購內容

1、預算金額：2100萬元人民幣

2、采購內容

●電子束蒸發儀 2套  預算金額400萬人民幣元，要求：主泵采用抽速不低于790L/S的分子泵

●反應離子刻蝕機 2套  預算金額300萬元人民幣，要求：射頻源采用射頻發生器、并配置自動匹配盒

●光刻機（Mask Aligner2套  預算金額800萬元人民幣，要求：光強均勻度：優于±2.5％

●掃描電子顯微鏡  2套  預算金額600萬元人民幣，要求：加速電壓：0.02kV～30kV，加速電壓10V步進連續可調，電子著陸能量范圍：20eV～30keV（在不使用樣品臺減速模式下）

二、招標文件的發售時間及地點等：

時間：2019年12月26日 09:00 至 2020年01月03日 16:00(雙休日及法定節假日除外)

地點：中國上海延安西路358號美麗園大廈14樓

招標文件售價：￥500.0 元，本公告包含的招標文件售價總和

招標文件獲取方式：現場領購

三、投標時間及地點

投標截止時間：2020-01-16 10:00

投標文件送達地點：邯鄲路220號逸夫科技樓3樓303B會議室

四、開標時間及地點

開標時間：2020-01-16 10:00

開標地點：邯鄲路220號逸夫科技樓3樓303B會議室

五、聯系事宜

招標人：復旦大學

地址：上海市邯鄲路220號

聯系人：張老師

聯系方式 ：86-21-65641327

招標代理機構：上海國際招標有限公司

地址：中國上海延安西路358號美麗園大廈14樓

聯系人：王曉、馬骎

聯系方式 ：86-21-62791919×192、176